| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·压电效应 | 第11-12页 |
| ·压电材料的发展史 | 第12-13页 |
| ·压电材料的各项参数 | 第13-17页 |
| ·压电系数 | 第13-14页 |
| ·介质损耗 | 第14-15页 |
| ·居里温度 | 第15页 |
| ·介电常数 | 第15页 |
| ·机电耦合系数 | 第15-16页 |
| ·机械品质因数 | 第16-17页 |
| ·铁电效应 | 第17页 |
| ·压电材料的分类及应用 | 第17-18页 |
| ·电介质材料的具体分类及其关系 | 第18页 |
| ·无铅压电材料的研究意义及发展现状 | 第18-20页 |
| ·铌酸钾钠基无铅压电材料的研究 | 第20-21页 |
| ·选题依据及课题研究的主要内容 | 第21-23页 |
| 第2章 KNN 压电薄膜的制备 | 第23-39页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第23-27页 |
| ·物理气相沉积法（PVD） | 第23页 |
| ·化学气相沉积法（CVD） | 第23-24页 |
| ·溅射法 | 第24页 |
| ·水热合成法 | 第24-25页 |
| ·溶胶—凝胶法（sol—gel） | 第25-27页 |
| ·实验方法、药品及器材 | 第27-30页 |
| ·实验方法的确定 | 第27页 |
| ·实验药品 | 第27-28页 |
| ·实验器材 | 第28-29页 |
| ·主要流程说明 | 第29-30页 |
| ·工艺过程 | 第30-35页 |
| ·氢氧化铌的自制备 | 第31-34页 |
| ·铌酸钾钠胶体制备 | 第34-35页 |
| ·基底的制作 | 第35-37页 |
| ·衬底的选择 | 第35-37页 |
| ·底电极 | 第37页 |
| ·KNN 薄膜的成膜过程 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 工艺参数的确定及各参数对 KNN 薄膜的影响 | 第39-50页 |
| ·工艺参数的确定 | 第39-43页 |
| ·Nb 的摩尔质量浓度的确定 | 第39页 |
| ·柠檬酸用量的确定 | 第39-40页 |
| ·乙二醇用量的确定 | 第40-41页 |
| ·PH 值的确定 | 第41-43页 |
| ·草酸铵的加入对 KNN 薄膜的影响 | 第43-46页 |
| ·退火温度对薄膜的影响 | 第46-48页 |
| ·退火工艺流程的确定 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 KNN 薄膜制备工艺改进及薄膜性能的提高 | 第50-60页 |
| ·成膜工艺的改进 | 第50-53页 |
| ·交替 0-3 复合法 | 第50-53页 |
| ·交替 0-3 复合法制模过程 | 第53页 |
| ·薄膜性能的提高 | 第53-55页 |
| ·掺杂方式 | 第53-54页 |
| ·掺杂元素的选择及加入方式 | 第54-55页 |
| ·Nd/Ti 掺杂比例对薄膜材料的影响 | 第55-59页 |
| ·不同掺杂比例 KNN 薄膜密度受到温度的影响 | 第56-57页 |
| ·薄膜的 d33、εr、Ke、Qm 与掺杂比例的关系 | 第57-58页 |
| ·电滞回线 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68页 |