溶胶—凝胶法制备PZT薄膜的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-13页
·薄膜概述	第7页
·PZT薄膜	第7-9页
·PZT薄膜的研究现状	第9-11页
·本课题研究的意义和主要内容	第11-13页
第二章 溶胶-凝胶技术制备薄膜的原理	第13-20页
·薄膜的形成	第13-15页
·溶胶-凝胶法制备薄膜	第15-17页
·PZT薄膜溶胶-凝胶法的制备方案	第17-20页
第三章 PZT薄膜的制备	第20-26页
·实验设备与原料	第20页
·PZT薄膜制备的工艺流程	第20-23页
·样品制备	第23-25页
·样品分析法	第25-26页
第四章 结果与讨论	第26-50页
·PZT粉体的分析	第26-27页
·PZT薄膜的分析	第27-30页
·溶胶浓度不同对PZT薄膜的影响	第30-33页
·溶胶PH值不同对PZT薄膜的影响	第33-35页
·水含量不同对PZT薄膜的影响	第35-38页
·前驱体混合方式不同对PZT薄膜的影响	第38-41页
·匀胶转速不同对PZT薄膜的影响	第41-44页
·干燥和煅烧温度不同对PZT薄膜的影响	第44-47页
·乙酰丙酮含量不同对PZT薄膜的影响	第47-50页
结论	第50-51页
致谢	第51-52页
参考文献	第52-54页