紫外光学线宽扫描测量装置的成像系统研究
| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-24页 |
| ·论文研究背景和意义 | 第17-21页 |
| ·纳米计量技术 | 第17-18页 |
| ·光刻技术 | 第18-19页 |
| ·半导体线宽测量技术 | 第19-21页 |
| ·计量型紫外光学显微镜的研究现状 | 第21-22页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第22-24页 |
| 第二章 计量型紫外光学显微镜系统结构及扫描原理 | 第24-29页 |
| ·紫外光学显微镜分辨率分析 | 第24页 |
| ·系统结构介绍 | 第24-25页 |
| ·系统测量范围 | 第24页 |
| ·系统机械结构组成 | 第24-25页 |
| ·线宽扫描原理 | 第25-29页 |
| ·位移测量系统 | 第26-27页 |
| ·线宽测量方法 | 第27-29页 |
| 第三章 紫外光学线宽扫描成像系统设计 | 第29-48页 |
| ·紫外光探测方法 | 第29-34页 |
| ·紫外光学照明光强测量实验 | 第30-32页 |
| ·PMT 选型 | 第32-34页 |
| ·探测分光系统设计 | 第34-41页 |
| ·铰链调整系统 | 第34-40页 |
| ·小孔尺寸计算 | 第40-41页 |
| ·图像自动对焦系统 | 第41-48页 |
| ·聚焦算法 | 第41-42页 |
| ·物镜执行器 | 第42-47页 |
| ·物像关系 | 第47-48页 |
| 第四章 成像系统自动聚焦方法研究 | 第48-58页 |
| ·光学成像系统 | 第48-52页 |
| ·数字图像自动聚焦原理 | 第52-53页 |
| ·聚焦评价函数 | 第53-56页 |
| ·自动聚焦效率及精度分析 | 第53-54页 |
| ·灰度差分法评价函数 | 第54-55页 |
| ·梯度评价函数 | 第55页 |
| ·能量谱评价函数 | 第55-56页 |
| ·聚焦窗口选择 | 第56-58页 |
| 第五章 基于小波分解的自动聚焦算法与对焦性能分析 | 第58-67页 |
| ·小波基的选择 | 第62-63页 |
| ·消失矩阶数的选择 | 第63-64页 |
| ·分解层数的选择 | 第64-65页 |
| ·噪声分析 | 第65-67页 |
| 第六章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第71-72页 |
