接触型超声振动化学机械抛光作用机理研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·集成电路发展史 | 第8-9页 |
| ·现有超光滑表面加工方法 | 第9-10页 |
| ·化学机械抛光技术的背景及研究现状 | 第10-12页 |
| ·超声抛光技术研究现状 | 第12-15页 |
| ·超声抛光实验研究现状 | 第12-14页 |
| ·超声抛光理论研究概述 | 第14-15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 超声抛光原理及实验系统 | 第17-25页 |
| ·超声辅助抛光原理 | 第17-18页 |
| ·超声抛光系统组成 | 第18-21页 |
| ·超声波发生器 | 第18-19页 |
| ·超声振动系统 | 第19-20页 |
| ·超声抛光机床 | 第20-21页 |
| ·超声抛光振子工作原理 | 第21-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 3 超声抛光变幅杆动态设计及测试 | 第25-36页 |
| ·变幅杆动态设计 | 第25-29页 |
| ·变幅杆尺寸设计 | 第25-26页 |
| ·变幅杆尺寸的有限元分析 | 第26-29页 |
| ·振子性能测试仪器和测试原理 | 第29-30页 |
| ·抛光振子性能测试 | 第30-33页 |
| ·振子振型的确定 | 第30-32页 |
| ·振子性能测试 | 第32-33页 |
| ·振子装夹装置设计 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 4 超声抛光实验 | 第36-42页 |
| ·实验参数 | 第36-38页 |
| ·抛光实验 | 第38-40页 |
| ·压力对抛光效果的影响 | 第38-39页 |
| ·转速对抛光效果的影响 | 第39-40页 |
| ·实验结果分析 | 第40-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 5 超声抛光机理研究 | 第42-51页 |
| ·超声振动抛光数学模型的建立 | 第42-48页 |
| ·抛光颗粒数模型的提出 | 第42-44页 |
| ·由超声振动产生的有效抛光颗粒增量 | 第44-47页 |
| ·单位时间内有效磨粒总数 | 第47-48页 |
| ·模型的理论分析 | 第48页 |
| ·模型的实验验证 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 6 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
