超声流体喷射抛光振子及应用研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·射流抛光技术的概述 | 第9-12页 |
| ·射流抛光的定义和特点 | 第9-10页 |
| ·液体喷射抛光的研究现状 | 第10-12页 |
| ·液体喷射抛光技术的应用前景 | 第12页 |
| ·化学机械抛光技术的研究概况 | 第12-14页 |
| ·化学机械抛光技术的背景及研究现状 | 第12-13页 |
| ·硅片的加工技术 | 第13-14页 |
| ·超声技术的研究现状 | 第14-17页 |
| ·超声技术的原理及特点 | 第14-15页 |
| ·超声技术在化学机械抛光中的应用 | 第15-16页 |
| ·超声雾化的原理及应用 | 第16-17页 |
| ·本课题的选题意义及主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 超声流体喷射抛光技术的理论基础 | 第18-29页 |
| ·射流理论 | 第18-22页 |
| ·均匀薄板的自由振动方程 | 第22-25页 |
| ·压电方程 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 超声压电振子的有限元模拟及模态测试 | 第29-36页 |
| ·压电振子的密封结构 | 第29-30页 |
| ·压电振子的有限元分析 | 第30-32页 |
| ·超声压电振子的实验测试 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 超声流体喷射抛光实验研究 | 第36-48页 |
| ·超声流体喷射抛光实验装置的结构 | 第36-38页 |
| ·实验原理 | 第36-37页 |
| ·超声流体喷射抛光实验结构 | 第37-38页 |
| ·实验系统参数的设定 | 第38-40页 |
| ·超声流体喷射抛光实验 | 第40-46页 |
| ·影响流体喷射抛光实验的因素 | 第40页 |
| ·抛光后硅片 3D 表面形貌的测试方法 | 第40-41页 |
| ·抛光时间对抛光效果的影响 | 第41-43页 |
| ·硅片转速对抛光效果的影响 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 5 含抛光垫的超声流体喷射抛光实验研究 | 第48-59页 |
| ·含抛光垫的超声流体喷射抛光实验的原理分析 | 第48-49页 |
| ·含抛光垫超声流体喷射抛光实验系统的设计 | 第49-54页 |
| ·滑环在实验系统中的应用 | 第50-51页 |
| ·实验系统结构的设计 | 第51-53页 |
| ·实验过程中参数的设定 | 第53-54页 |
| ·含抛光垫的超声流体喷射抛光实验 | 第54-55页 |
| ·抛光实验过程 | 第54页 |
| ·实验后硅片的清洗 | 第54-55页 |
| ·实验结果测试分析 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
