| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·太阳能电池 | 第11-14页 |
| ·太阳能电池的发展历程 | 第11-12页 |
| ·太阳能电池的工作原理 | 第12页 |
| ·太阳能电池的分类 | 第12-14页 |
| ·TCO透明导电氧化物薄膜 | 第14-18页 |
| ·TCO薄膜的特性 | 第14页 |
| ·TCO薄膜的发展 | 第14-15页 |
| ·TCO薄膜的制备方法 | 第15-16页 |
| ·TCO薄膜在硅基太阳能电池中的作用 | 第16-18页 |
| ·ZnO基透明导电氧化物薄膜 | 第18-20页 |
| ·AZO(ZnO：Al)薄膜 | 第18-19页 |
| ·GZO(ZnO：Ga)薄膜 | 第19-20页 |
| ·本课题的研究意义及研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 样品制备与性能表征 | 第21-32页 |
| ·样品的制备 | 第21-25页 |
| ·磁控溅射技术 | 第21-23页 |
| ·溅射前衬底的清洗 | 第23页 |
| ·样品的制备过程 | 第23-24页 |
| ·样品的制备条件 | 第24-25页 |
| ·样品的性能表征设备及其原理 | 第25-32页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第25-26页 |
| ·原子力显微镜(AFM,Atomic Force Microscopy) | 第26-27页 |
| ·分光光度计 | 第27-28页 |
| ·霍尔效应测试仪 | 第28-30页 |
| ·纳米压痕仪 | 第30-32页 |
| 第三章 AZO透明导电氧化物薄膜的光电性能与力学性能研究 | 第32-41页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·实验 | 第33-34页 |
| ·AZO透明导电薄膜的结构特性 | 第34-36页 |
| ·AZO透明导电薄膜的光电性能 | 第36-37页 |
| ·AZO透明导电薄膜的力学性能 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 GZO透明导电氧化物薄膜与商用FTO薄膜的光电和力学性能对比研究 | 第41-49页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·实验 | 第42-43页 |
| ·GZO与FTO薄膜的结构特性对比 | 第43-44页 |
| ·GZO与FTO薄膜的光电性能对比 | 第44-45页 |
| ·GZO与FTO薄膜的力学性能对比 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 总结 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
