自动热铟压封设备的设计与仿真分析

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-19页
·课题研究背景及意义	第10页
·铟封技术概述	第10-14页
·冷压铟封	第11-12页
·热熔铟封	第12-14页
·热压封接设备的国内外研究现状	第14-18页
·课题研究目的及主要研究内容	第18-19页
2 热压装置的设计	第19-41页
·自动铟封设备整体结构与功能	第19-21页
·热压装置的机身设计	第21-28页
·机身结构设计	第21-25页
·机身变形仿真分析	第25-28页
·压力位移控制系统设计	第28-34页
·压力执行机构设计	第28-30页
·压力位移检测装置设计	第30-33页
·压力与位移的控制策略	第33-34页
·加热装置的设计	第34-39页
·本章小结	第39-41页
3 作业机械手的设计	第41-50页
·三自由度移动平台的设计	第41-44页
·机械手的坐标形式	第41-42页
·三自由度移动平台的搭建	第42-44页
·机械臂的设计	第44-47页
·电极零件拾取装置的设计	第44-45页
·柔顺机构的工作原理	第45页
·腔体对准检测装置的设计	第45-47页
·腔体调整平台的设计	第47-49页
·本章小结	第49-50页
4 基于有限元方法的温度压力研究	第50-63页
·加热装置的温度性能分析	第50-56页
·仿真模型的建立	第50-51页
·加热过程分析	第51-54页
·温度均匀性分析	第54-56页
·力一致性研究	第56-62页
·影响压力一致性因素分析	第56-58页
·压力一致性对封接质量的影响	第58-59页
·一种提高压力均匀性的方法	第59-62页
·本章小结	第62-63页
结论	第63-65页
参考文献	第65-68页
致谢	第68-69页