| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-18页 |
| ·太阳能的意义及发展 | 第12-14页 |
| ·太阳电池的发展历史及前景 | 第14-17页 |
| ·本文研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 晶体硅太阳电池基本原理及工艺流程 | 第18-40页 |
| ·典型晶体硅太阳电池结构 | 第18-21页 |
| ·晶体硅太阳电池的工作原理 | 第21-25页 |
| ·晶体硅太阳电池的制造工艺 | 第25-30页 |
| ·晶体硅太阳电池核心工艺——扩散制备p-n 结 | 第30-39页 |
| ·扩散的基本原理 | 第30-35页 |
| ·扩散的工艺条件 | 第35-36页 |
| ·扩散质量的检验 | 第36-39页 |
| ·实验设备介绍 | 第39-40页 |
| 第三章 单晶硅太阳电池扩散工艺的研究 | 第40-58页 |
| ·主扩时间对太阳电池性能影响的研究 | 第41-50页 |
| ·方块电阻与主扩时间的关系 | 第41-42页 |
| ·开路电压与主扩时间的关系 | 第42-44页 |
| ·短路电流密度与主扩时间的关系 | 第44-46页 |
| ·并联电阻与主扩时间的关系 | 第46页 |
| ·串联电阻与主扩时间的关系 | 第46-47页 |
| ·填充因子及转换效率与主扩时间的关系 | 第47-50页 |
| ·再分布时间对太阳电池性能影响的研究 | 第50-55页 |
| ·方块电阻随再分布时间变化关系 | 第50-51页 |
| ·开路电压随再分布时间变化关系 | 第51-52页 |
| ·短路电流密度随再分布时间变化关系 | 第52-53页 |
| ·填充因子随再分布时间变化关系 | 第53-54页 |
| ·转换效率随再分布时间变化关系 | 第54-55页 |
| ·扩散温度对太阳电池性能影响的研究 | 第55-57页 |
| ·方块电阻、开路电压和短路电流密度与扩散温度的关系 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 背面刻蚀对单晶硅太阳电池性能影响的研究 | 第58-66页 |
| ·实际太阳电池等效电路分析 | 第58-59页 |
| ·刻蚀时间对太阳电池性能的影响 | 第59-65页 |
| ·并联电阻随刻蚀时间变化关系 | 第59-60页 |
| ·开路电压随刻蚀时间变化关系 | 第60页 |
| ·填充因子随刻蚀时间变化关系 | 第60-63页 |
| ·转换效率随刻蚀时间变化关系 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 单晶硅太阳电池铝背场工艺的研究 | 第66-74页 |
| ·铝背场的形成理论 | 第66-67页 |
| ·铝背场对太阳电池的主要影响 | 第67-69页 |
| ·铝背场的制备 | 第69-73页 |
| ·铝浆烧结制备铝背场 | 第69-70页 |
| ·真空蒸镀铝膜烧结制备铝背场 | 第70-72页 |
| ·磁控溅射铝膜烧结制备铝背场 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 结论与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表或已完成的学术论文 | 第82页 |
| 攻读硕士学位期间参加科研项目情况 | 第82页 |