功率半导体器件版图拼接技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-21页 |
| ·版图显微图像拼接的背景和意义 | 第11-12页 |
| ·图像拼接技术的研究现状 | 第12-19页 |
| ·图像拼接技术概述 | 第12-15页 |
| ·图像配准技术研究现状 | 第15-19页 |
| ·本文的主要工作和内容安排 | 第19-21页 |
| 第2章 版图显微图像的配准 | 第21-41页 |
| ·图像采集和特征分析 | 第21-24页 |
| ·图像采集 | 第21-23页 |
| ·图像特征分析 | 第23-24页 |
| ·图像几何变换模型估计 | 第24-27页 |
| ·图像几何变换模型综述 | 第24-27页 |
| ·版图图像变换模型估计 | 第27页 |
| ·相位相关POC 配准算法 | 第27-32页 |
| ·传统相关匹配算法综述 | 第28-30页 |
| ·相位相关POC 配准算法综述 | 第30-32页 |
| ·基于特征块POC 算法的显微图像配准 | 第32-37页 |
| ·版图配准中POC 算法存在的问题 | 第32-33页 |
| ·基于特征块的POC 算法原理与实现方法 | 第33-34页 |
| ·图像差影检测处理 | 第34-35页 |
| ·图像特征块提取 | 第35-37页 |
| ·实验结果 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 大量版图显微图像的全局拼接 | 第41-61页 |
| ·全局拼接方法综述 | 第41-43页 |
| ·全局拼接的误差累积分析 | 第43-46页 |
| ·帧到全景图的二路归并拼接 | 第46-56页 |
| ·二路归并的全局拼接流程 | 第46-49页 |
| ·建立图像邻接矩阵 | 第49-50页 |
| ·二路归并的矩阵合并 | 第50-51页 |
| ·局部配准参数的全局优化 | 第51-53页 |
| ·合并集中图像的拼接 | 第53-56页 |
| ·实验结果 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 版图显微图像的融合 | 第61-67页 |
| ·图像融合方法综述 | 第61-63页 |
| ·基于加权平滑法改进的融合算法 | 第63-65页 |
| ·实验结果 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读学位期间发表论文以及参加科研情况 | 第73-74页 |
