| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·研究背景和意义 | 第9-12页 |
| ·研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文的主要内容与结构安排 | 第13-16页 |
| 第二章 电容式传感器检测电路原理分析 | 第16-24页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·电容式传感器的感测原理 | 第16-17页 |
| ·传统的电容检测方法 | 第17-20页 |
| ·电容式传感器的检测电路原理 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 集成微电容式传感器理论模型研究 | 第24-42页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·微电容式传感器的物理结构 | 第25-27页 |
| ·理论推导与计算 | 第27-34页 |
| ·中间电极的电容变化量理论推导 | 第27-31页 |
| ·边界电极的电容变化量理论推导 | 第31-34页 |
| ·一定厚度铝电极间的电容变化量理论推导 | 第34页 |
| ·结果分析 | 第34-41页 |
| ·近似边界电极值的数值结果分析 | 第35-37页 |
| ·考虑边界电极值的数值结果分析 | 第37页 |
| ·利用有限元软件仿真结果分析 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 传感器信号读出电路的设计 | 第42-75页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·信号读出电路的原理分析 | 第42-48页 |
| ·开关电容电路原理 | 第42-44页 |
| ·差分式开关电容电路 | 第44-47页 |
| ·反相开关电容放大电路 | 第47-48页 |
| ·整体电路结构 | 第48页 |
| ·电容信号读出电路设计 | 第48-66页 |
| ·运算放大器设计 | 第48-58页 |
| ·MOS开关设计 | 第58-62页 |
| ·低通滤波器设计 | 第62-63页 |
| ·时钟源设计 | 第63-64页 |
| ·整体电路设计 | 第64-66页 |
| ·电容信号读出电路仿真 | 第66-73页 |
| ·运算放大器仿真 | 第66-69页 |
| ·整体电路仿真 | 第69-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 版图设计及工艺研究 | 第75-89页 |
| ·引言 | 第75页 |
| ·CMOS工艺流程和TSMC公司0.18um工艺分析 | 第75-78页 |
| ·版图设计 | 第78-85页 |
| ·模拟集成电路的设计流程 | 第78-79页 |
| ·TSMC 0.18um工艺的基本单元结构版图设计 | 第79-83页 |
| ·运算放大器版图设计 | 第83-84页 |
| ·敏感电容设计 | 第84-85页 |
| ·后加工工艺设计 | 第85-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第六章 总结 | 第89-92页 |
| ·论文主要研究工作和创新点 | 第89-90页 |
| ·尚待进一步研究和解决的问题 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 博士期间撰写的学术论文 | 第103-104页 |
| 博士期间参与的科研项目 | 第104页 |