| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题研究意义及来源 | 第9-11页 |
| ·SiH_4制备的研究现状及发展 | 第11-16页 |
| ·传统法制备SiH_4 | 第11页 |
| ·还原卤化硅制备SiH_4 | 第11-12页 |
| ·卡尔巴伊特联合过程制备SiH_4 | 第12-13页 |
| ·烷氧基硅烷法制备SiH_4 | 第13-16页 |
| ·SiH_4提纯的研究现状及发展 | 第16-17页 |
| ·冷冻-吸附相结合提纯SiH_4 | 第16-17页 |
| ·活性炭吸附法提纯SiH_4 | 第17页 |
| ·分子筛吸附法提纯SiH_4 | 第17页 |
| ·SiH_4提纯的理论研究 | 第17-20页 |
| ·吸附提纯热力学 | 第17-19页 |
| ·吸附提纯动力学 | 第19-20页 |
| ·主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 实验装置与测试方法 | 第21-28页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第21-22页 |
| ·主要化学试剂 | 第21-22页 |
| ·主要仪器 | 第22页 |
| ·实验装置 | 第22-25页 |
| ·SiH_4制备实验装置 | 第22-23页 |
| ·SiH_4提纯实验装置 | 第23-25页 |
| ·分析测试方法 | 第25-28页 |
| ·气相色谱-质谱联用定性分析 | 第25页 |
| ·气相色谱定量分析 | 第25-28页 |
| 第3章 HSi(OC_2H_5)_3歧化反应制备SiH_4的工艺研究 | 第28-45页 |
| ·SiH_4制备步骤及工艺流程 | 第28-29页 |
| ·制备步骤 | 第28页 |
| ·制备工艺流程图 | 第28-29页 |
| ·实验结果计算公式 | 第29-30页 |
| ·催化剂的制备 | 第30-31页 |
| ·实验结果测试分析 | 第31-40页 |
| ·催化剂对实验结果的影响 | 第31-35页 |
| ·烷氧基硅烷对实验结果的影响 | 第35-38页 |
| ·反应温度对实验结果的影响 | 第38-39页 |
| ·转速对实验结果的影响 | 第39-40页 |
| ·反应机理探讨 | 第40-44页 |
| ·反应机理 | 第40-41页 |
| ·实验结果对反应机理的验证 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 SiH_4提纯的工艺研究 | 第45-58页 |
| ·SiH_4提纯步骤及工艺流程 | 第45-47页 |
| ·SiH_4提纯步骤 | 第45-47页 |
| ·SiH_4提纯工艺流程图 | 第47页 |
| ·SiH_4提纯的影响因素分析 | 第47-52页 |
| ·分子筛的结构 | 第47-49页 |
| ·分子筛吸附剂的性能 | 第49-50页 |
| ·分子筛吸附柱的性能 | 第50-52页 |
| ·提纯结果测试分析 | 第52-56页 |
| ·温度对提纯结果的影响 | 第52-53页 |
| ·柱高径比对提纯结果的影响 | 第53-54页 |
| ·压强或气体流速对提纯结果的影响 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |