基于Pt膜的阵列式风速风向双参数传感器研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| ·国内外风传感器的发展状况 | 第11-14页 |
| ·研究的目的意义 | 第14-16页 |
| ·本课题的来源及研究内容 | 第16-18页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 传感器制作的实验研究 | 第18-33页 |
| ·传感器的版图设计 | 第18-20页 |
| ·传感器的制作工艺过程 | 第20-32页 |
| ·磁控溅射成膜原理与特点 | 第20-23页 |
| ·薄膜的制备 | 第23-26页 |
| ·版图成型 | 第26-27页 |
| ·高温热处理 | 第27-28页 |
| ·激光刻槽 | 第28-29页 |
| ·引线焊接 | 第29-30页 |
| ·封装 | 第30-32页 |
| ·测试系统示意图 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 传感器的性能分析 | 第33-51页 |
| ·磁控溅射工艺对薄膜的影响 | 第33-44页 |
| ·基片对成膜的影响 | 第33-35页 |
| ·靶材的质量要求 | 第35页 |
| ·溅射功率对沉积速率的影响 | 第35-37页 |
| ·溅射功率对薄膜形貌的影响 | 第37-40页 |
| ·溅射时间对膜厚的影响 | 第40-41页 |
| ·溅射功率对膜厚的影响 | 第41-43页 |
| ·薄膜的表面形貌分析 | 第43-44页 |
| ·性能分析 | 第44-49页 |
| ·风速对感温芯片阻值的影响 | 第44-47页 |
| ·加热电压对感温芯片阻值的影响 | 第47-49页 |
| ·测量系统上的缺陷与不足 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 铂膜形成及传感器检测机理探讨 | 第51-60页 |
| ·成膜机理 | 第51-53页 |
| ·凝聚过程 | 第51页 |
| ·生长过程 | 第51-52页 |
| ·铂薄膜的形成 | 第52-53页 |
| ·检测机理 | 第53-58页 |
| ·速度和热边界层 | 第53页 |
| ·风速和风向的测量 | 第53-56页 |
| ·铂膜风速风向传感器的测量机理 | 第56-58页 |
| ·后续需要进行的工作 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录1 | 第65-66页 |
| 附录2 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
