摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-8页 |
第一章 概述 | 第8-18页 |
·高温超导简介 | 第8-9页 |
·高温超导薄膜及应用 | 第9-14页 |
·超导薄膜的制备技术 | 第14-16页 |
·选题依据和研究内容 | 第16-18页 |
第二章 实验方法和原理 | 第18-29页 |
·直流溅射原理 | 第18-20页 |
·实验装置 | 第20页 |
·薄膜的分析表征方法 | 第20-25页 |
·YBCO 薄膜的电性能分析 | 第25-29页 |
第三章 MGO 基片上生长YBCO 薄膜的工艺研究 | 第29-41页 |
·YBCO 的结构 | 第29-31页 |
·MGO 基片上直接生长YBCO 薄膜 | 第31-37页 |
·YBCO 自外延生长 | 第37-38页 |
·MGO 自外延层上生长YBCO 薄膜 | 第38-41页 |
第四章 MGO 基片退火工艺对YBCO 薄膜的改善 | 第41-54页 |
·YBCO 薄膜面内生长模式 | 第41-42页 |
·MGO 基片退火工艺研究 | 第42-51页 |
·大面积MGO 基片的基片退火和YBCO 薄膜制备 | 第51-54页 |
第五章 YBCO 薄膜稳定性研究 | 第54-59页 |
·空气中YBCO 薄膜的退化 | 第54-55页 |
·器件中的水腐蚀和反应 | 第55-59页 |
第六章 结论 | 第59-60页 |
致谢 | 第60-61页 |
参考文献 | 第61-65页 |
读硕期间取得的成果 | 第65-66页 |