| 摘要 | 第1-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·超微量检测技术的国内外现状 | 第10-12页 |
| ·超微尺寸、超微位移测量技术 | 第10-11页 |
| ·微加速度和微振动测量技术 | 第11页 |
| ·超微流量测量、超微质量测量技术 | 第11-12页 |
| ·超微量检测中的相关技术 | 第12-16页 |
| ·微传感器技术 | 第12-14页 |
| ·精密检测技术 | 第14-16页 |
| ·微驱动技术 | 第16页 |
| ·压电陶瓷微位移技术的发展与现状 | 第16-18页 |
| ·本论文的选题背景与所要研究的内容 | 第18-20页 |
| ·选题背景与前期工作 | 第18-19页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 压电陶瓷微位移器的原理与特性 | 第20-31页 |
| ·压电效应与压电陶瓷 | 第20-24页 |
| ·压电效应与逆压电效应 | 第20页 |
| ·压电陶瓷 | 第20-21页 |
| ·压电陶瓷器件基本特性 | 第21-24页 |
| ·压电陶瓷微位移器及其内部结构 | 第24-26页 |
| ·压电陶瓷微位移器驱动方法 | 第26-28页 |
| ·压电陶瓷微位移器的电源技术 | 第28-31页 |
| 第三章 超微质量检测系统与微执行器反馈装置总体设计方案 | 第31-40页 |
| ·超微质量检测系统 | 第31-37页 |
| ·系统总体结构与工作原理 | 第31-32页 |
| ·超微质量转换装置 | 第32-34页 |
| ·激光测量装置 | 第34-36页 |
| ·测量控制电路 | 第36页 |
| ·反馈驱动装置 | 第36页 |
| ·系统工作过程 | 第36-37页 |
| ·微执行器的设计指标与选型 | 第37-38页 |
| ·微执行器的总体设计方案 | 第38-40页 |
| 第四章 微执行器设计 | 第40-51页 |
| ·高压直流稳压电源的设计 | 第40-43页 |
| ·高压直流稳压电源设计方法 | 第40-41页 |
| ·高压直流稳压电源的设计指标 | 第41页 |
| ·高压直流稳压电源设计 | 第41-43页 |
| ·高压线性放大电路设计 | 第43-48页 |
| ·高压线性放大电路的设计指标 | 第43页 |
| ·高压集成运算放大器PA85 | 第43-46页 |
| ·高压线性放大电路 | 第46-48页 |
| ·微执行器的线性补偿 | 第48-51页 |
| ·分段线性插值 | 第48-49页 |
| ·采用分段线性插值法进行线性补偿 | 第49-50页 |
| ·补偿的实现 | 第50-51页 |
| 第五章 系统仿真与实验 | 第51-62页 |
| ·典型的压电陶瓷模型及特性 | 第51-55页 |
| ·微位移器的仿真 | 第55-56页 |
| ·微执行器反馈装置的仿真 | 第56-57页 |
| ·超微质量检测系统仿真 | 第57-60页 |
| ·制作与实验 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第63-64页 |
| 独创性声明 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 附录 | 第70-73页 |