| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| ·多孔硅研究背景 | 第9-11页 |
| ·多孔硅在传感器中的应用概况 | 第11-16页 |
| ·金属氧化物半导体薄膜传感材料的应用和研究现状 | 第16-21页 |
| ·二氧化锡气敏传感材料的研究现状 | 第18-20页 |
| ·酒敏传感材料的研究现状 | 第20-21页 |
| ·课题研究意义 | 第21-23页 |
| 第2章 硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)的制备及其酒敏特性研究 | 第23-38页 |
| ·Si-NPA的制备技术简要介绍及特征形貌分析 | 第23-25页 |
| ·Si-NPA的制备技术 | 第23-24页 |
| ·Si-NPA表面形貌表征 | 第24-25页 |
| ·基于Si-NPA的酒敏传感特性研究 | 第25-29页 |
| ·敏感元件设计 | 第25-26页 |
| ·样气制备 | 第26-29页 |
| ·检测系统 | 第29页 |
| ·敏感元件的酒敏特性测试 | 第29-33页 |
| ·敏感元件的灵敏度测试 | 第30-31页 |
| ·敏感元件的响应时间测试 | 第31-32页 |
| ·敏感元件的稳定性测试 | 第32-33页 |
| ·Si-NPA气敏传感材料特性分析 | 第33-36页 |
| ·Si-NPA的气敏机理分析 | 第33-35页 |
| ·问题分析及解决方法 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏传感材料的酒敏特性研究 | 第38-58页 |
| ·实验技术路线设计 | 第39页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏元件的制备 | 第39-47页 |
| ·溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜 | 第40-42页 |
| ·溶胶-凝胶法制备SnO_2／Si-NPA复合薄膜的表征 | 第42-47页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜元件的制备 | 第47页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏元件的酒敏特性测试 | 第47-53页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏元件的灵敏度测试 | 第47-51页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏元件的响应时间测试 | 第51页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏元件的稳定性测试 | 第51-52页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏元件的选择性测试 | 第52-53页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏传感材料的酒敏特性分析 | 第53-55页 |
| ·SnO_2／Si-NPA复合薄膜气敏传感材料的气敏机制分析 | 第53-55页 |
| ·进一步改善的方法与展望 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-58页 |
| 第4章 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-70页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
