| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·薄膜概述 | 第10-11页 |
| ·纳米压痕技术 | 第11-20页 |
| ·纳米压痕技术的一般概念 | 第11-12页 |
| ·纳米压痕技术的理论基础 | 第12-19页 |
| ·纳米压痕技术的应用 | 第19-20页 |
| ·薄膜应力-应变关系的研究状况 | 第20-21页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第21-23页 |
| 第二章 理论框架 | 第23-38页 |
| ·量纲分析 | 第24-31页 |
| ·量纲理论 | 第24-25页 |
| ·压入问题的量纲分析 | 第25-31页 |
| ·用纳米压痕法表征膜/基体系应力-应变关系的理论框架 | 第31-37页 |
| ·脆性薄膜/韧性基底体系 | 第31-35页 |
| ·脆性薄膜/脆性基底体系 | 第35页 |
| ·韧性薄膜/脆性基底体系 | 第35页 |
| ·韧性薄膜/韧性基底体系 | 第35-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第三章 电沉积镍镀层压痕过程的有限元模拟 | 第38-53页 |
| ·ABAQUS简介 | 第38-39页 |
| ·有限元模型 | 第39-42页 |
| ·有限元计算结果 | 第42-45页 |
| ·结果分析 | 第45-52页 |
| ·无量纲函数Φ[σ_(yf)/E_s,n_f,E_f/E_s]的确定 | 第46-50页 |
| ·无量纲函数Ψ[σ_(yf)/E_s,n_f,E_f/E_s]的确定 | 第50-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第四章 电沉积镍镀层应力-应变关系的测定 | 第53-60页 |
| ·样品制备 | 第53-54页 |
| ·弹性模量的测定 | 第54-57页 |
| ·屈服强度与应变硬化指数的确定 | 第57-59页 |
| ·测定韧性薄膜/脆性基底组合中薄膜应力-应变关系的实例 | 第59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录A（攻读学位期间发表论文目录） | 第68页 |
