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Zn2SiO4/Si发光薄膜与器件研究

第一章 前言第1-29页
   ·研究背景和内容的确定第10-13页
   ·硅酸锌的结构、性质和发展第13-15页
   ·硅酸锌发光基体材料研究进展第15-26页
     ·硅酸锌形成、结晶性质研究第15-18页
     ·掺Mn硅酸锌发光材料研究进展第18-23页
     ·稀土掺杂硅酸锌发光材料研究进展第23-25页
     ·其他元素掺杂硅酸锌发光材料第25-26页
   ·硅酸锌电致发光器件研究进展第26-27页
   ·本文的研究目的与内容第27-29页
第二章 硅酸锌薄膜的制备和表征第29-36页
   ·溶胶—凝胶法成膜基本原理第29-30页
   ·硅酸锌薄膜的制备工艺第30-33页
     ·溶胶制备与镀膜第30-32页
     ·高温热处理第32页
     ·工艺条件对溶胶薄膜影响的研究第32-33页
   ·薄膜制备衬底的选择和清洗第33-34页
   ·样品的表征第34-36页
第三章 未掺杂硅酸锌的制备和性质研究第36-49页
   ·薄膜的制备第36-37页
   ·不同工艺对硅酸锌结晶和物相转变过程的影响第37-41页
     ·A工艺SiO_2/Si上制备样品的形成表征第37-39页
     ·B工艺SiO_2/Si上制备样品的形成表征第39-41页
   ·在SiO_2/Si上B工艺制备样品的性质研究第41-48页
     ·薄膜的表面形态、粒径大小第41-44页
     ·薄膜的断面性质第44-45页
     ·薄膜中的键合形态第45-47页
     ·未掺杂样品的发光性质第47-48页
     ·样品的电学性质第48页
   ·本章小结第48-49页
第四章 硅基掺Mn硅酸锌薄膜的性质第49-72页
   ·热处理温度、时间和掺杂浓度对掺Mn样品发光的影响第49-53页
     ·热处理温度对掺Mn样品发光的影响第49-51页
     ·热处理时间对掺Mn样品发光性质的影响第51-52页
     ·Mn掺杂浓度对薄膜样品发光性质的影响第52-53页
   ·热处理温度、时间和掺杂浓度对样品结晶性质的影响第53-57页
     ·热处理温度对掺Mn样品结晶性能的影响第54-55页
     ·热处理时间对掺Mn样品结晶性能的影响第55-56页
     ·Mn掺杂浓度对样品结晶性能的影响第56-57页
   ·热处理温度、时间和掺杂浓度对样品形貌和晶粒的影响第57-63页
     ·热处理温度对掺Mn样品形貌和粒径的影响第57-59页
     ·热处理时间对掺Mn样品形貌和粒径的影响第59-60页
     ·Mn掺杂浓度对样品形貌和粒径的影响第60-63页
   ·物相成分的变化对发光强度影响的分析第63-68页
     ·引起发光强度改变的因素比较第63-64页
     ·ZnO、Zn_2SiO_4相共存电子跃迁过程分析第64-68页
   ·掺杂后薄膜样品的键合形态分析第68-69页
   ·掺Mn样品的衰减特性第69-71页
   ·本章小结第71-72页
第五章 稀土掺杂硅基硅酸锌薄膜发光性质第72-80页
   ·掺Eu硅酸锌发光薄膜第72-75页
     ·热处理温度的影响第72-74页
     ·掺杂浓度的影响第74-75页
   ·掺Ce硅酸锌发光薄膜第75-78页
   ·掺Tb硅酸锌发光薄膜第78-79页
   ·本章小结第79-80页
第六章 硅基平面结构电致发光原型器件第80-89页
   ·电致发光器件简介与现状第80-82页
   ·制备介绍第82页
   ·性能分析第82-84页
   ·原型器件电致发光机理分析第84-86页
   ·硅集成工艺兼容性讨论第86-87页
   ·加大电压后的电致发光讨论第87-88页
   ·本章小结第88-89页
第七章 结论与建议第89-91页
   ·本文结论第89-90页
   ·改进工作建议第90-91页
参考文献第91-101页
攻读博士期间完成和参与完成的论文第101-103页
致谢第103页

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