多通道薄膜滤光片的设计、制备与测试
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| §1．1 光学薄膜的发展及现状 | 第6-7页 |
| §1．2 光学薄膜测量技术的发展与现状 | 第7-9页 |
| §1．3 多通道薄膜滤光片的发展和现状 | 第9-12页 |
| §1．4 本课题的研究工作 | 第12-13页 |
| 参考文献 | 第13-15页 |
| 第二章 薄膜制备工艺研究 | 第15-41页 |
| §2．1 引言 | 第15页 |
| §2．2 膜层薄膜光学常数的测定 | 第15-21页 |
| §2．2．1 数值法 | 第16-18页 |
| §2．2．2 包络法 | 第18-20页 |
| §2．2．3 最优化方法 | 第20-21页 |
| §2．3 薄膜制备的工艺特性参数 | 第21-25页 |
| §2．3．1 温度分布特性 | 第21-23页 |
| §2．3．2 膜厚的几何分布 | 第23-24页 |
| §2．3．3 材料的工艺试验 | 第24-25页 |
| §2．4 膜层厚度监控 | 第25-31页 |
| §2．4．1 薄膜厚度监控方法简述 | 第25-26页 |
| §2．4．2 计算机辅助监控法 | 第26-29页 |
| §2．4．3 膜厚监控的设计 | 第29-31页 |
| §2．5 膜系监控误差的计算机模拟 | 第31-39页 |
| §2．5．1 极值监控法引起的膜厚误差计算 | 第33-34页 |
| §2．5．2 定值监控法引起的膜厚误差计算 | 第34-36页 |
| §2．5．3 高反膜的膜厚监控误差模拟 | 第36-39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 第三章 多通道掩膜滤光片 | 第41-53页 |
| §3．1 引言 | 第41页 |
| §3．2 掩膜滤光片的设计 | 第41-47页 |
| §3．2．1 滤光片基片及掩膜板的设计 | 第42-43页 |
| §3．2．2 各通道滤光片的设计 | 第43-47页 |
| §3．3 掩膜滤光片的制备 | 第47-48页 |
| §3．4 测试结果与分析 | 第48-51页 |
| §3．5 小结与改进 | 第51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第四章 薄膜超棱镜 | 第53-87页 |
| §4．1 引言 | 第53-54页 |
| §4．2 一维多层薄膜结构中的超棱镜效应 | 第54-66页 |
| §4．2．1 一维多层薄膜结构的色散关系 | 第54-58页 |
| §4．2．2 时间色散与空间色散 | 第58-61页 |
| §4．2．3 薄膜超棱镜效应测试装置搭建 | 第61-66页 |
| §4．3 周期性薄膜结构的超棱镜效应 | 第66-81页 |
| §4．3．1 高反膜系结构的超棱镜效应 | 第67-72页 |
| §4．3．2 带金属反射镜的薄膜超棱镜 | 第72-81页 |
| §4．4 薄膜法—珀腔的超棱镜效应 | 第81-85页 |
| §4．4．1 法—珀腔的群延迟 | 第81-83页 |
| §4．4．2 超棱镜效应的测试与分析 | 第83-85页 |
| §4．5 本章小结 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-87页 |
| 第五章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 硕士期间完成的论文与项目 | 第89-90页 |
| 感谢 | 第90页 |
