| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 1 绪论 | 第13-31页 |
| ·课题研究背景 | 第13-16页 |
| ·切削热和切削温度的产生与传出原理 | 第13-14页 |
| ·切削温度的主要影响因素 | 第14-15页 |
| ·切削温度的主要研究方法 | 第15-16页 |
| ·切削温度测量技术的国内外研究现状 | 第16-24页 |
| ·自然热电偶法 | 第16-17页 |
| ·人工热电偶法 | 第17-18页 |
| ·半人工热电偶法 | 第18-20页 |
| ·红外辐射测温法 | 第20-22页 |
| ·固态图像传感器法 | 第22-23页 |
| ·薄膜热电偶法 | 第23-24页 |
| ·切削温度测量的其它方法 | 第24页 |
| ·薄膜热电偶的发展及其应用 | 第24-28页 |
| ·片状薄膜热电偶 | 第24-25页 |
| ·针状薄膜热电偶 | 第25-27页 |
| ·嵌入式薄膜热电偶 | 第27页 |
| ·微型薄膜热电偶 | 第27-28页 |
| ·开展本课题研究的目的和意义 | 第28-29页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第29-31页 |
| 2 薄膜热电偶的热电转换机理 | 第31-52页 |
| ·薄膜电导和热导的概念 | 第31-37页 |
| ·块体金属材料的电导和热导 | 第31-36页 |
| ·非金属的热导 | 第36页 |
| ·薄膜的电导与热导关系 | 第36-37页 |
| ·薄膜的电学性质与电子输运理论 | 第37-45页 |
| ·玻尔兹曼经典统计与费密-狄拉克函数 | 第37-39页 |
| ·薄膜的电学性质与电子输运理论 | 第39-40页 |
| ·连续薄膜电导率的计算 | 第40-45页 |
| ·薄膜热电偶的热电势率 | 第45-50页 |
| ·塞贝克效应 | 第45-46页 |
| ·绝对热电势率 | 第46-47页 |
| ·扩散热电势率 | 第47-49页 |
| ·薄膜热电偶的热电势率 | 第49-50页 |
| ·薄膜的性质及选择原则 | 第50-51页 |
| ·金属薄膜的性质及选择原则 | 第50页 |
| ·介质薄膜的性质及选择原则 | 第50-51页 |
| ·薄膜热电偶的选择原则 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 3 薄膜热电偶中薄膜的制备及其性能表征 | 第52-81页 |
| ·MW-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术 | 第52-55页 |
| ·薄膜制备技术概述 | 第52-53页 |
| ·MW-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射工作原理 | 第53-55页 |
| ·SiO_2绝缘薄膜的制备及其性能分析 | 第55-64页 |
| ·SiO_2绝缘薄膜制备过程与工艺条件 | 第57-59页 |
| ·SiO_2绝缘薄膜表征与性能分析 | 第59-64页 |
| ·SiO_2薄膜沉积中需注意的问题 | 第64页 |
| ·SiO_2绝缘薄膜热导率的测试 | 第64-73页 |
| ·导热物性参数的研究方法 | 第64-65页 |
| ·瞬态热反射测试的原理及装置 | 第65-66页 |
| ·SiO_2薄膜热导率测试参数及测试结构模型 | 第66-68页 |
| ·SiO_2薄膜热导率测试的热传导模型与试验过程 | 第68-71页 |
| ·SiO_2薄膜热导率测试结果与分析 | 第71-73页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜的制备及性能分析 | 第73-79页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜的制作流程 | 第73-75页 |
| ·NiCr/NiSi掩模设计与制备 | 第75-76页 |
| ·NiCr/NiSi热电偶薄膜表征与分析 | 第76-77页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜整体结构 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 4 NiCr/NiSi薄膜热电偶切削测温刀具研制 | 第81-105页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶的切削测温刀具研制 | 第81-85页 |
| ·分刀片式切削测温刀具的研制 | 第81-83页 |
| ·整体式切削测温刀具的研制 | 第83-84页 |
| ·嵌入式切削测温刀具的研制 | 第84-85页 |
| ·测温刀具中NiCr/NiSi薄膜热电偶的标定 | 第85-91页 |
| ·薄膜热电偶自动标定系统 | 第86-88页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶的标定 | 第88-89页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶的标定结果 | 第89-91页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶动态性能的研究 | 第91-95页 |
| ·薄膜热电偶动态特性研究的方法及研究现状 | 第91-92页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶动态响应时间的测试 | 第92-94页 |
| ·不同采样频率下NiCr/NiSi薄膜热电偶动态响应时间的测量 | 第94-95页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶模拟磨损性能研究 | 第95-98页 |
| ·模拟薄膜磨损过程的系列薄膜热电偶制作 | 第95-96页 |
| ·磨损对NiCr/NiSi薄膜热电偶塞贝克系数的影响 | 第96-97页 |
| ·磨损对NiCr/NiSi薄膜热电偶动态响应时间的影响 | 第97-98页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶动态性能分析 | 第98-104页 |
| ·薄膜热电偶动态性能理论分析 | 第98-103页 |
| ·薄膜热电偶动态响应时间的理论及测量结果分析 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 5 瞬态切削测温刀具切削试验 | 第105-113页 |
| ·瞬态切削测温刀具的组装 | 第105-107页 |
| ·瞬态切削测温刀具的封装 | 第105页 |
| ·瞬态切削测温刀具的安装 | 第105-107页 |
| ·铝合金材料切削试验 | 第107-112页 |
| ·切削系统与试验条件 | 第107-108页 |
| ·切削试验结果 | 第108-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 结论与展望 | 第113-116页 |
| 创新点摘要 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-124页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第124-125页 |
| 攻读博士学位期间申请发明专利情况 | 第125页 |
| 攻读博士学位期间完成与本论文相关的科研课题情况 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 作者简介 | 第127-128页 |
