嵌入可动电极的微惯性传感器的设计与相关IC检测电路研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·微机电系统概述 | 第10-12页 |
| ·MEMS 微惯性传感器 | 第12-15页 |
| ·MEMS 微惯性传感器的种类 | 第12-13页 |
| ·MEMS 微惯性传感器的研究方向 | 第13-15页 |
| ·MEMS 微惯性传感器的主要性能指标 | 第15页 |
| ·电容式微惯性传感器 | 第15-19页 |
| ·电容式微惯性传感器简介 | 第15-17页 |
| ·电容式微惯性传感器的研究现状 | 第17-18页 |
| ·电容式微惯性传感器的制作工艺 | 第18-19页 |
| ·电容检测电路介绍 | 第19-20页 |
| ·论文主要内容 | 第20-21页 |
| 第2章 微惯性传感器设计的理论基础和结构模型 | 第21-48页 |
| ·传感器的检测机制 | 第21-25页 |
| ·测量控制原理 | 第21-23页 |
| ·系统动态模型 | 第23-25页 |
| ·传感器的结构模型 | 第25-40页 |
| ·支撑梁结构 | 第25-31页 |
| ·微执行器结构 | 第31-34页 |
| ·检测电容结构 | 第34-40页 |
| ·传感器的整体结构设计 | 第40-47页 |
| ·U 形梁结构设计 | 第40-41页 |
| ·电磁驱动设计原理 | 第41-43页 |
| ·梳栅电极结构设计 | 第43-45页 |
| ·传感器结构设计简图 | 第45-47页 |
| ·传感器的参数设计 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 微惯性传感器的性能分析与仿真 | 第48-58页 |
| ·有限元仿真 | 第48-53页 |
| ·Ansys 软件简介 | 第48页 |
| ·模态分析 | 第48-51页 |
| ·灵敏度分析 | 第51-52页 |
| ·最大应力分析 | 第52-53页 |
| ·边缘效应分析 | 第53-57页 |
| ·基本理论原理 | 第53-54页 |
| ·边缘效应对传感器的影响 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 新型微惯性传感器的版图设计和加工工艺 | 第58-68页 |
| ·新型器件的版图设计 | 第58-61页 |
| ·微惯性传感器的工艺设计 | 第61-65页 |
| ·体硅加工工艺 | 第61-63页 |
| ·工艺制作流程 | 第63-65页 |
| ·微惯性传感器的工艺验证 | 第65-67页 |
| ·单元器件的简化截面剖图 | 第65-66页 |
| ·局部验证及实际工作原理 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 微惯性传感器接口检测电路 | 第68-84页 |
| ·检测电路的整体方案 | 第68页 |
| ·单元电路分析设计 | 第68-76页 |
| ·寄生电容补偿电路 | 第68-69页 |
| ·调制放大电路 | 第69-72页 |
| ·带通滤波电路 | 第72-73页 |
| ·同步检波电路 | 第73-76页 |
| ·接口检测电路总图 | 第76-77页 |
| ·电路仿真及实验结果 | 第77-83页 |
| ·电路仿真 | 第77-82页 |
| ·实验结果 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第6章 总结 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 附录 | 第90-91页 |
| 详细摘要 | 第91-94页 |
