| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| §1.1 微纳米技术的研究发展现状 | 第11-12页 |
| §1.2 微机电系统(MEMS)概述 | 第12-14页 |
| §1.2.1 MEMS技术的新发展 | 第12-14页 |
| §1.2.2 MEMS技术的应用前景 | 第14页 |
| §1.3 微驱动技术 | 第14-18页 |
| §1.3.1 微驱动机构及微驱动器 | 第15-16页 |
| §1.3.2 热驱动机构 | 第16-18页 |
| §1.4 本文的主要研究内容及成果 | 第18-22页 |
| 参考文献 | 第22-25页 |
| 第二章 微驱动技术及其工作原理 | 第25-36页 |
| §2.1 现有微驱动技术 | 第25-27页 |
| §2.1.1 压电微驱动技术 | 第25-26页 |
| §2.1.2 静电微驱动技术 | 第26-27页 |
| §2.2 电热驱动机构 | 第27-34页 |
| §2.2.1 电热驱动机构的结构和工作原理 | 第27-31页 |
| §2.2.2 电热驱动机构的应用 | 第31-34页 |
| 参考文献 | 第34-36页 |
| 第三章 微尺度光热膨胀机制及理论研究 | 第36-75页 |
| §3.1 光热膨胀的微观机制 | 第36-47页 |
| §3.1.1 光热膨胀材料(微膨胀臂)对激光的吸收 | 第37-40页 |
| §3.1.2 热量在微膨胀臂内部的传递 | 第40-41页 |
| §3.1.3 微膨胀臂表面的对流换热 | 第41-44页 |
| §3.1.4 微膨胀臂表面的热辐射换热 | 第44-46页 |
| §3.1.5 微膨胀臂的热平衡的建立和体积膨胀 | 第46-47页 |
| §3.2 微尺度光热膨胀的三维静态模型 | 第47-50页 |
| §3.3 二维静态模型及其数值分析 | 第50-55页 |
| §3.4 微尺度光热膨胀—维静态模型的研究 | 第55-64页 |
| §3.4.1 温度分布的理论推导 | 第55-62页 |
| §3.4.2 膨胀臂伸长量的理论推导 | 第62-64页 |
| §3.5 微尺度光热膨胀的动态模型 | 第64-74页 |
| §3.5.1 瞬态温度分布以及瞬态伸长量的通用公式 | 第65-67页 |
| §3.5.2 连续激光照射下膨胀臂的加热和伸长过程 | 第67-69页 |
| §3.5.3 脉冲激光照射下膨胀臂的振动模型及特性 | 第69-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 第四章 光热微驱动技术的新方法研究及光热微驱动机构(PTA)制备 | 第75-88页 |
| §4.1 光热微驱动的新方法研究 | 第75-80页 |
| §4.1.1 基于光热膨胀的光热微驱动方法 | 第75-77页 |
| §4.1.2 光热微偏转及光热微振动 | 第77-78页 |
| §4.1.3 PTA的设计 | 第78-80页 |
| §4.2 PTA的制备方法 | 第80-85页 |
| §4.2.1 微机构制备方法 | 第80-81页 |
| §4.2.2 准分子激光微加工原理及系统 | 第81-85页 |
| §4.3 PTA的加工与制备 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-88页 |
| 第五章光热微驱动的控制系统研制 | 第88-101页 |
| §5.1 系统的总体设计 | 第88-89页 |
| §5.2 光热微驱动的控制系统 | 第89-94页 |
| §5.2.1 光热微驱动的光路设计 | 第89-91页 |
| §5.2.2 激光控制电路的设计与制作 | 第91-92页 |
| §5.2.3 三维机械微调装置 | 第92-94页 |
| §5.3 光热微驱动的显微监控与测量装置 | 第94-100页 |
| §5.3.1 CCD光学显微监控测量装置 | 第94-96页 |
| §5.3.2 原子力显微镜测量装置 | 第96-100页 |
| 参考文献 | 第100-101页 |
| 第六章 光热微驱动的实验技术研究 | 第101-120页 |
| §6.1 基本型微膨胀臂的实验研究 | 第101-105页 |
| §6.1.1 激光功率对基本型微膨胀臂伸长量的影响 | 第101-104页 |
| §6.1.2 激光照射位置对基本型微膨胀臂伸长量的影响 | 第104-105页 |
| §6.2 优化型微膨胀臂的实验研究 | 第105-110页 |
| §6.2.1 优化型微膨胀臂的特点 | 第105-106页 |
| §6.2.2 优化型微膨胀臂的静态响应 | 第106-108页 |
| §6.2.3 优化型微膨胀臂的动态响应 | 第108-110页 |
| §6.3 对称型PTA的光热偏转及振动实验 | 第110-112页 |
| §6.3.1 对称型PTA的光热偏转 | 第110-111页 |
| §6.3.2 对称型PTA的微振动及频率响应特性 | 第111-112页 |
| §6.4 非对称型PTA的性能研究 | 第112-119页 |
| §6.4.1 非对称型PTA的静态响应 | 第113-115页 |
| §6.4.2 非对称型PTA的比较实验 | 第115-117页 |
| §6.4.3 非对称型PTA的动态响应 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-120页 |
| 第七章 总结与展望 | 第120-123页 |
| §7.1 总结 | 第120-122页 |
| §7.2 展望 | 第122-123页 |
| 附录A博士在读期间发表论文情况 | 第123-124页 |
| 附录B国家发明专利和实用新型专利 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125页 |
