| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·纳米薄膜的力热性能研究的背景及意义 | 第8-10页 |
| ·纳米薄膜力热性能的研究内容及实验方法 | 第10-13页 |
| ·纳米薄膜的力学性能和热学性能 | 第10-11页 |
| ·纳米薄膜的一般研究方法 | 第11-12页 |
| ·纳米薄膜国内外研究现状及需要研究的问题 | 第12-13页 |
| ·本文的主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 纳米薄膜屈曲的理论分析及热应力理论分析 | 第15-28页 |
| ·几种典型屈曲模式的力学分析 | 第15-19页 |
| ·直线型褶皱 | 第15-17页 |
| ·电话线型屈曲 | 第17-19页 |
| ·圆泡型屈曲 | 第19页 |
| ·屈曲相互转变的模式 | 第19-21页 |
| ·由直线型向电话线型屈曲转变 | 第20页 |
| ·由直线型向泡状屈曲转变 | 第20-21页 |
| ·刚性基底与柔性基底对薄膜屈曲的影响 | 第21-22页 |
| ·热载荷对薄膜的影响 | 第22-23页 |
| ·热弹性理论基本方程 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 力——热耦合加载实验装置的研究 | 第28-34页 |
| ·热载荷加载装置 | 第28-29页 |
| ·热载荷加载元件 | 第28页 |
| ·热载荷控制系统的设计 | 第28-29页 |
| ·测力装置 | 第29-32页 |
| ·压电晶体的原理 | 第30页 |
| ·压电传感器的原理及其工作标定 | 第30-32页 |
| ·对中轴向加载装置 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 力——热耦合下的薄膜屈曲实验研究 | 第34-42页 |
| ·实验方案的制定 | 第34-35页 |
| ·Ti/Ni薄膜/基底力——热耦合实验研究 | 第35-41页 |
| ·轴向载荷加载到100N时的薄膜屈曲试验 | 第35-37页 |
| ·轴向载荷加载到150N时的薄膜屈曲试验 | 第37-38页 |
| ·轴向载荷加载到450N时的薄膜屈曲试验 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 薄膜/基底结构在力——热耦合下的有限元计算 | 第42-56页 |
| ·传热学经典理论 | 第42页 |
| ·基本的热传递方式 | 第42-44页 |
| ·热传导 | 第42-43页 |
| ·热对流 | 第43-44页 |
| ·边界条件与初始条件 | 第44页 |
| ·三类边界条件 | 第44页 |
| ·初始条件 | 第44页 |
| ·实验模型的热载荷分析 | 第44-45页 |
| ·模拟实验模型的有限元计算 | 第45-55页 |
| ·实验试件的温度场的分布 | 第47-48页 |
| ·试件在力——热耦合情况下应力场分析 | 第48-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 薄膜/基底结构热疲劳的研究与分析 | 第56-62页 |
| ·实验方法 | 第56-57页 |
| ·薄膜/基底的热疲劳分析 | 第57-60页 |
| ·对Cu薄膜/基底热疲劳实验研究 | 第57-58页 |
| ·对Ti/Ni薄膜/基底热疲劳实验研究 | 第58-59页 |
| ·AL薄膜/基底的热疲劳分析 | 第59-60页 |
| ·薄膜/基底的高温热疲劳 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第七章 总结与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |