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复合型微细电火花加工装置及工艺的研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-17页
   ·引言第8-9页
   ·国内外微细电火花加工技术的进展第9-11页
     ·线电极磨削工艺的进展第9-10页
     ·微细电火花加工装置的进展第10-11页
   ·微结构器件加工的进展第11-12页
   ·三维微细电火花扫描加工的现状与分析第12-15页
   ·本课题的主要研究内容第15-17页
第二章 微细电火花加工装置的组成第17-26页
   ·引言第17页
   ·微细电火花装置的组成第17-23页
     ·微细电火花加工脉冲电源第18-20页
     ·放电间隙状态检测第20-21页
     ·电极伺服进给系统第21页
     ·旋转主轴头第21-22页
     ·工作液循环系统第22-23页
   ·微细电极的制作第23-24页
   ·微型铣床第24页
   ·本章小结第24-26页
第三章 精密三维工作台的搭建与调试第26-42页
   ·引言第26页
   ·工作台各部件的选择第26-30页
     ·驱动方式的选择第26-29页
     ·工作台及配套光栅尺的选择第29页
     ·控制卡的选择第29-30页
   ·工作台性能的测定和调节第30-41页
     ·检测仪器及其原理第30-31页
     ·工作台精度的测定和调节第31-32页
     ·校正的原理和方法第32-41页
   ·三维工作台的组装第41页
   ·本章小结第41-42页
第四章 微孔加工实验第42-54页
   ·引言第42页
   ·影响加工效率的因素第42-45页
     ·电参数的影响第42-44页
     ·非电参数的影响第44-45页
   ·影响电极损耗的主要因素第45-47页
     ·电参数的影响第45-46页
     ·非电参数的影响第46-47页
   ·影响加工精度的因素第47-51页
     ·电参数的影响第47-49页
     ·非电参数的影响第49-51页
   ·影响表面粗糙度的因素第51-53页
     ·电参数的影响第51-52页
     ·非电参数的影响第52-53页
   ·本章小结第53-54页
第五章 三维微细电火花伺服扫描加工工艺的研究第54-62页
   ·引言第54页
   ·电火花伺服扫描加工的原理第54-55页
   ·三维微细电火花伺服扫描加工的工艺流程第55-56页
   ·三维微细电火花伺服扫描加工实验第56-61页
   ·本章小结第61-62页
第六章 结论与展望第62-63页
参考文献第63-66页
发表论文和科研情况说明第66-67页
致谢第67页

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