基于微探针加工技术的分子自组装过程实验研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-16页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·微探针纳米加工技术研究现状 | 第8-11页 |
| ·STM 纳米加工技术 | 第8-9页 |
| ·AFM 纳米加工技术 | 第9-10页 |
| ·其他微探针纳米加工技术 | 第10-11页 |
| ·自组装过程控制技术研究现状 | 第11-14页 |
| ·溶剂控制技术 | 第12页 |
| ·场诱导控制技术 | 第12页 |
| ·特殊基底控制技术 | 第12-14页 |
| ·其它控制技术 | 第14页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 加工系统原理及有序性评价方法 | 第16-25页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·加工系统原理 | 第16-18页 |
| ·AFM 工作原理 | 第16-17页 |
| ·微探针加工机理 | 第17-18页 |
| ·微加工系统的组成 | 第18-22页 |
| ·微加工系统各部分介绍 | 第20页 |
| ·微加工系统的改造 | 第20-22页 |
| ·自组装结构有序性评价方法 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 微探针纳米加工实验研究 | 第25-39页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·实验设备 | 第25页 |
| ·开环加工方式与闭环加工方式的对比 | 第25-27页 |
| ·加工参数对加工深度的影响 | 第27-30页 |
| ·加工参数对表面粗糙度的影响 | 第30-34页 |
| ·加工参数对形状精度的影响 | 第34-36页 |
| ·三维微结构的加工 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第4章 基底调控自组装纳米微结构实验研究 | 第39-51页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·实验原料及设备 | 第39页 |
| ·样品制备 | 第39-40页 |
| ·AFM 表征 | 第40页 |
| ·探针针尖形貌对测量结果的影响 | 第40-42页 |
| ·基底形貌对自组装过程的影响 | 第42-50页 |
| ·基底图案深度对自组装结构的影响 | 第42-44页 |
| ·基底图案表面粗糙度对自组装结构的影响 | 第44-45页 |
| ·基底图案形状精度对自组装结构的影响 | 第45-47页 |
| ·三维图案调控出的自组装结构 | 第47页 |
| ·光刻基底所调控出的自组装结构 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
