| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 微波等离子体设备简介 | 第11-12页 |
| 1.3 微波电源简介 | 第12-14页 |
| 1.4 研究进展 | 第14-15页 |
| 1.5 研究的意义 | 第15-16页 |
| 1.6 研究内容 | 第16-19页 |
| 第2章 控制系统设计 | 第19-39页 |
| 2.1 磁控管简介 | 第19-22页 |
| 2.1.1 磁控管的结构 | 第19-21页 |
| 2.1.2 磁控管的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2 控制方案设计 | 第22-26页 |
| 2.2.1 磁控管功率因素分析 | 第22-25页 |
| 2.2.2 控制方案设计 | 第25-26页 |
| 2.3 控制系统设计 | 第26-38页 |
| 2.3.1 神经网络PID控制概述 | 第26-28页 |
| 2.3.2 神经网络PID控制器设计 | 第28-32页 |
| 2.3.3 神经网络PID参数整定 | 第32-35页 |
| 2.3.4 系统Matlab/simulink仿真 | 第35-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 硬件电路设计 | 第39-55页 |
| 3.1 励磁电源电路 | 第39-44页 |
| 3.1.1 开关型励磁电源设计 | 第39-42页 |
| 3.1.2 串联稳压电路设计 | 第42-43页 |
| 3.1.3 输出电流可调电路 | 第43-44页 |
| 3.2 电场电源电路 | 第44-46页 |
| 3.3 灯丝电源电路 | 第46-48页 |
| 3.4 单片机控制电路 | 第48-49页 |
| 3.5 辅助保护电路 | 第49-53页 |
| 3.5.1 平滑启动电路 | 第49-50页 |
| 3.5.2 采样电路 | 第50-51页 |
| 3.5.3 EMI滤波电路 | 第51-52页 |
| 3.5.4 缺相保护电路 | 第52-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 软件程序设计 | 第55-63页 |
| 4.1 软件结构简介 | 第55-56页 |
| 4.2 软件流程设计 | 第56-58页 |
| 4.3 控制算法设计 | 第58-59页 |
| 4.3.1 递推增量式PID算法设计 | 第58页 |
| 4.3.2 神经网络PID自校正算法设计 | 第58-59页 |
| 4.4 软件程序实现 | 第59-62页 |
| 4.4.1 灯丝预热模块程序实现 | 第60-61页 |
| 4.4.2 A/D转换模块软件实现 | 第61-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 虚拟仪器设计 | 第63-71页 |
| 5.1 虚拟仪器简介 | 第63-64页 |
| 5.2 Lab VIEW概述 | 第64页 |
| 5.3 虚拟仪器设计 | 第64-70页 |
| 5.3.1 虚拟仪器的开发环境 | 第64-66页 |
| 5.3.2 虚拟仪器的通讯方案 | 第66-67页 |
| 5.3.3 虚拟仪器的设计 | 第67-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第6章 系统调试 | 第71-77页 |
| 6.1 系统调试的意义 | 第71页 |
| 6.2 系统调试的方案 | 第71-73页 |
| 6.2.1 硬件电路的调试方案 | 第71-72页 |
| 6.2.2 软件程序的调试方案 | 第72-73页 |
| 6.3 系统调试的结果 | 第73-76页 |
| 6.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士期间已发表论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |