| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| ·Ti0_2 和ZnO 薄膜材料的基本性质 | 第15-20页 |
| ·Ti0_2薄膜材料的基本性质 | 第15-17页 |
| ·ZnO 薄膜材料的基本性质 | 第17-20页 |
| ·Ti0_2 和ZnO 薄膜材料的应用 | 第20-23页 |
| ·纳米Ti0_2薄膜材料的应用 | 第20-21页 |
| ·纳米ZnO 薄膜材料的应用 | 第21-23页 |
| ·国内外研究概况 | 第23-24页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 本章参考文献 | 第25-30页 |
| 第二章 制备及表征技术 | 第30-48页 |
| ·制备设备 | 第30-41页 |
| ·溶胶-凝胶法制膜 | 第30-37页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第37-41页 |
| ·表征技术 | 第41-46页 |
| ·Raman 光谱 | 第41-42页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第42-43页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第43-44页 |
| ·光致发光谱(PL) | 第44-45页 |
| ·紫外—可见光分光光度计测量薄膜透光率 | 第45页 |
| ·四探针及霍尔效应测试薄膜电学性能 | 第45-46页 |
| 本章参考文献 | 第46-48页 |
| 第三章 未掺杂纳米Ti0_2薄膜性能的研究 | 第48-63页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·实验 | 第49-52页 |
| ·Ti0_2薄膜的制备 | 第49-50页 |
| ·Ti0_2薄膜的测试 | 第50-52页 |
| ·结果与讨论 | 第52-60页 |
| ·Ti0_2 薄膜A-M-R 相转换的拉曼谱分析 | 第52-55页 |
| ·Ti0_2 薄膜A-M-R 相转换的透射谱分析 | 第55-58页 |
| ·Ti0_2 薄膜A-M-R 相转换的PL 谱分析 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60页 |
| 本章参考文献 | 第60-63页 |
| 第四章 稀土掺杂改性纳米Ti0_2薄膜性能的研究 | 第63-80页 |
| ·引言 | 第63-64页 |
| ·实验 | 第64-65页 |
| ·Ti0_2 薄膜的配制 | 第64-65页 |
| ·Ti0_2 薄膜的拉曼谱测试 | 第65页 |
| ·结果与讨论 | 第65-76页 |
| ·掺杂对Ti0_2 薄膜物相转换的拉曼分析 | 第65-70页 |
| ·掺杂对Ti0_2 薄膜晶粒大小、内部应力和晶格振动的拉曼分析 | 第70-73页 |
| ·掺杂Ti0_2 薄膜纳米尺寸效应的拉曼谱分析 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76页 |
| 本章参考文献 | 第76-80页 |
| 第五章 直流磁控溅射制备纳米AZO 薄膜性能的研究 | 第80-95页 |
| ·引言 | 第80-81页 |
| ·实验 | 第81-82页 |
| ·AZO 薄膜的制备 | 第81-82页 |
| ·AZO 薄膜的测试 | 第82页 |
| ·结果与讨论 | 第82-91页 |
| ·AZO 靶材的微结构 | 第82-84页 |
| ·基底温度对薄膜结构的影响 | 第84-86页 |
| ·基底温度对薄膜光学性能的影响 | 第86-89页 |
| ·基底温度对薄膜电学性能的影响 | 第89-91页 |
| ·本章小结 | 第91页 |
| 本章参考文献 | 第91-95页 |
| 第六章 反应磁控溅射制备纳米AZO 薄膜性能的研究 | 第95-109页 |
| ·引言 | 第95-96页 |
| ·实验 | 第96-97页 |
| ·AZO 薄膜的制备 | 第96页 |
| ·AZO 薄膜的测试 | 第96-97页 |
| ·结果与讨论 | 第97-106页 |
| ·基底温度对薄膜结构的影响 | 第97-99页 |
| ·基底温度对薄膜光学性能的影响 | 第99-104页 |
| ·基底温度对薄膜电学性能的影响 | 第104-106页 |
| ·本章小结 | 第106页 |
| 本章参考文献 | 第106-109页 |
| 第七章 结论与展望 | 第109-112页 |
| ·结论 | 第109-110页 |
| ·展望 | 第110-112页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第112-113页 |
| 作者在攻读博士学位期间所作的项目 | 第113-114页 |
| 致谢 | 第114页 |
