| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·真空紫外波段反射膜的发展概况 | 第14-19页 |
| ·单层膜反射镜 | 第14-17页 |
| ·多层膜反射镜 | 第17-19页 |
| ·本课题的目的和预期 | 第19-20页 |
| ·本课题的目的 | 第19页 |
| ·本课题的预期 | 第19-20页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第20-21页 |
| 第二章 光学薄膜设计的理论基础 | 第21-29页 |
| ·引言 | 第21-22页 |
| ·光学薄膜设计的一般方法 | 第22-28页 |
| ·光的电磁波理论 | 第22-23页 |
| ·单层膜的光学特性 | 第23-26页 |
| ·多层膜反射率递推公式的推导 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 真空紫外波段高反膜的设计 | 第29-50页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·几种高反膜设计方法简介 | 第29-32页 |
| ·指针设计法 | 第29-30页 |
| ·准周期多层膜设计法 | 第30页 |
| ·亚四分之一波长多层膜设计法 | 第30-31页 |
| ·“逐层”设计法 | 第31-32页 |
| ·“逐层”法设计真空紫外波段高反膜 | 第32-49页 |
| ·真空紫外高反膜选材的一般原则 | 第32-33页 |
| ·“逐层”设计法作图的过程 | 第33-49页 |
| ·MATLAB 软件介绍 | 第33-34页 |
| ·波长50nm 处膜材的选取 | 第34-36页 |
| ·波长50nm 处膜系的“逐层”设计 | 第36-39页 |
| ·波长50nm 处膜系的反射率误差分析 | 第39-45页 |
| ·50～200nm 整个波段膜系的“逐层”设计 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 不同基底、不同膜材组合对真空紫外高反膜反射率的影响 | 第50-64页 |
| ·不同基底上反射率的对比 | 第50-57页 |
| ·不同膜材组合的反射率对比 | 第57-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64页 |
| ·需要进一步解决的问题及展望 | 第64-66页 |
| 附录 常见材料在真空紫外波段的光学常数 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-73页 |