压电双晶片型微位移放大机构研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·精密机构应用领域 | 第11-16页 |
| ·微机电系统、超精密加工 | 第11-12页 |
| ·生物工程 | 第12页 |
| ·扫描探针显微镜（SPM） | 第12-13页 |
| ·医疗科学 | 第13-14页 |
| ·微机械零件的操作和装配 | 第14-15页 |
| ·集成电路制造 | 第15-16页 |
| ·光纤对接方面 | 第16页 |
| ·精密驱动机构类型与对比 | 第16-18页 |
| ·压电精密驱动实现方式 | 第18-24页 |
| ·直动式驱动器 | 第18-20页 |
| ·步进式（蠕动式）驱动器 | 第20-21页 |
| ·惯性冲击式驱动器 | 第21-24页 |
| ·本文工作 | 第24-26页 |
| 2 压电驱动理论 | 第26-34页 |
| ·压电效应与压电方程 | 第26-28页 |
| ·压电效应与压电逆效应 | 第26-27页 |
| ·压电方程 | 第27-28页 |
| ·压电元件 | 第28-33页 |
| ·压电叠堆 | 第28-29页 |
| ·压电双晶片 | 第29-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 微位移放大机构设计与分析 | 第34-52页 |
| ·微位移放大机构设计原理 | 第34-41页 |
| ·柔性铰链的理论及分析 | 第34-38页 |
| ·放大原理 | 第38-41页 |
| ·放大机构设计 | 第41-45页 |
| ·驱动的选择以及设计 | 第42页 |
| ·微位移放大机构设计 | 第42-45页 |
| ·微位移放大机构的ANSYS 分析 | 第45-50页 |
| ·微位移放大机构ANSYS 分析过程 | 第45-48页 |
| ·微位移放大机构的优化设计 | 第48-50页 |
| ·最大应力分析 | 第50页 |
| ·本章小节 | 第50-52页 |
| 4 微位移放大机构制作与实验 | 第52-62页 |
| ·微位移放大机构加工制作 | 第52-55页 |
| ·压电双晶片制作 | 第52-54页 |
| ·微位移放大机构制作 | 第54-55页 |
| ·微位移放大机构整体实验测试 | 第55-60页 |
| ·实验测试系统构建 | 第55-56页 |
| ·压电双晶片性能测试 | 第56-58页 |
| ·微位移放大机构性能测试 | 第58-60页 |
| ·实验结果与分析 | 第60页 |
| ·本章小节 | 第60-62页 |
| 5 结论与展望 | 第62-64页 |
| ·结论 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68-72页 |
| 作者简历 | 第72-74页 |
| 学位论文数据集 | 第74页 |
