| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题研究背景以及意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 微谐振器件及其品质因数 | 第10页 |
| 1.2.1 微机械谐振器件的定义 | 第10页 |
| 1.2.2 品质因数的定义 | 第10页 |
| 1.3 微谐振器中的气体阻尼及其研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3.1 气体阻尼的分类 | 第10-11页 |
| 1.3.2 气体阻尼的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3.3 待解决的问题 | 第12页 |
| 1.4 本文的研究内容和创新点 | 第12-13页 |
| 1.4.1 本文创新点 | 第12页 |
| 1.4.2 本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.5 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 微机械谐振器件的挤压膜阻尼机理 | 第14-23页 |
| 2.1 挤压膜阻尼产生机理与主要研究方法 | 第14-15页 |
| 2.1.1 挤压膜阻尼的产生机理 | 第14-15页 |
| 2.1.2 挤压膜阻尼的主要研究方法 | 第15页 |
| 2.2 挤压膜气体的控制方程 | 第15-16页 |
| 2.2.1 影响挤压膜阻尼效应的因素 | 第15页 |
| 2.2.2 可压缩气体的非线性雷诺方程 | 第15-16页 |
| 2.2.3 可压缩气体的线性雷诺方程 | 第16页 |
| 2.2.4 不可压缩气体的线性雷诺方程 | 第16页 |
| 2.3 本文相关的MEMS挤压膜气体阻尼典型模型 | 第16-22页 |
| 2.3.1 Pan等提出的扭转微谐振器件挤压膜阻尼模型 | 第17-20页 |
| 2.3.2 Bao等提出的穿孔扭转微谐振器件挤压膜阻尼模型 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 任意扭转轴位置的矩形扭转谐振器件挤压膜阻尼模型 | 第23-43页 |
| 3.1 任意扭转轴位置的未穿孔矩形扭转谐振器件的挤压膜阻尼理论模型 | 第23-30页 |
| 3.1.1 运动微分方程 | 第24-25页 |
| 3.1.2 基于双正弦级数法的挤压膜阻尼模型 | 第25-30页 |
| 3.2 理论结果与ANSYS有限元仿真结果的比较 | 第30-42页 |
| 3.2.1 扭转轴为任意位置时矩形板挤压膜阻尼有限元模型的建立 | 第30-33页 |
| 3.2.2 矩形板大小对挤压膜阻尼的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.3 间隙气体厚度对挤压膜阻尼的影响 | 第35-37页 |
| 3.2.4 振动频率对挤压膜阻尼的影响 | 第37-39页 |
| 3.2.5 扭转轴不同位置对挤压膜阻尼的影响 | 第39-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 任意扭转轴位置的穿孔矩形扭转谐振器件挤压膜阻尼模型 | 第43-71页 |
| 4.1 任意扭转轴位置的穿孔矩形扭转谐振器件的挤压膜阻尼理论模型 | 第43-50页 |
| 4.1.1 运动微分方程 | 第44-46页 |
| 4.1.2 基于双正弦级数的挤压膜阻尼模型 | 第46-50页 |
| 4.2 理论结果与ANSYS有限元仿真结果的比较 | 第50-69页 |
| 4.2.1 扭转轴为任意位置时的穿孔矩形板的挤压膜阻尼有限元模型的建立 | 第51-54页 |
| 4.2.2 矩形板穿孔大小对挤压膜阻尼的影响 | 第54-57页 |
| 4.2.3 矩形板间隙气体厚度对挤压膜阻尼的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.4 矩形板板厚对挤压膜阻尼的影响 | 第58-61页 |
| 4.2.5 扭转轴位置对挤压膜阻尼的影响 | 第61-63页 |
| 4.2.6 振动频率对挤压膜阻尼的影响 | 第63-67页 |
| 4.2.7 穿孔对矩形板挤压膜阻尼的影响 | 第67-69页 |
| 4.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 文章总结 | 第71-72页 |
| 5.2 文章不足之处 | 第72页 |
| 5.3 研究展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 附录 A 未穿孔矩形板扭转振动挤压膜阻尼相关计算程序 | 第79-85页 |
| A-1.求解挤压膜阻尼理论解Matlab程序 | 第79-80页 |
| A.2求解挤压膜阻尼数值解ANSYS程序 | 第80-85页 |
| 附录 B 穿孔矩形板扭转谐振器挤压膜阻尼相关计算程序 | 第85-93页 |
| B-1.求解挤压膜阻尼理论解Matlab程序 | 第85-86页 |
| B-2.求解穿孔矩形板挤压膜阻尼数值解ANSYS程序 | 第86-93页 |
| 附录 C 攻读硕士学位期间研究成果 | 第93页 |
