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具有一般结构的MEMS扭转器件挤压膜阻尼模型

摘要第5-6页
Abstract第6页
第一章 绪论第9-14页
    1.1 课题研究背景以及意义第9-10页
        1.1.1 课题背景第9-10页
    1.2 微谐振器件及其品质因数第10页
        1.2.1 微机械谐振器件的定义第10页
        1.2.2 品质因数的定义第10页
    1.3 微谐振器中的气体阻尼及其研究现状第10-12页
        1.3.1 气体阻尼的分类第10-11页
        1.3.2 气体阻尼的研究现状第11-12页
        1.3.3 待解决的问题第12页
    1.4 本文的研究内容和创新点第12-13页
        1.4.1 本文创新点第12页
        1.4.2 本文的主要研究内容第12-13页
    1.5 本章小结第13-14页
第二章 微机械谐振器件的挤压膜阻尼机理第14-23页
    2.1 挤压膜阻尼产生机理与主要研究方法第14-15页
        2.1.1 挤压膜阻尼的产生机理第14-15页
        2.1.2 挤压膜阻尼的主要研究方法第15页
    2.2 挤压膜气体的控制方程第15-16页
        2.2.1 影响挤压膜阻尼效应的因素第15页
        2.2.2 可压缩气体的非线性雷诺方程第15-16页
        2.2.3 可压缩气体的线性雷诺方程第16页
        2.2.4 不可压缩气体的线性雷诺方程第16页
    2.3 本文相关的MEMS挤压膜气体阻尼典型模型第16-22页
        2.3.1 Pan等提出的扭转微谐振器件挤压膜阻尼模型第17-20页
        2.3.2 Bao等提出的穿孔扭转微谐振器件挤压膜阻尼模型第20-22页
    2.4 本章小结第22-23页
第三章 任意扭转轴位置的矩形扭转谐振器件挤压膜阻尼模型第23-43页
    3.1 任意扭转轴位置的未穿孔矩形扭转谐振器件的挤压膜阻尼理论模型第23-30页
        3.1.1 运动微分方程第24-25页
        3.1.2 基于双正弦级数法的挤压膜阻尼模型第25-30页
    3.2 理论结果与ANSYS有限元仿真结果的比较第30-42页
        3.2.1 扭转轴为任意位置时矩形板挤压膜阻尼有限元模型的建立第30-33页
        3.2.2 矩形板大小对挤压膜阻尼的影响第33-35页
        3.2.3 间隙气体厚度对挤压膜阻尼的影响第35-37页
        3.2.4 振动频率对挤压膜阻尼的影响第37-39页
        3.2.5 扭转轴不同位置对挤压膜阻尼的影响第39-42页
    3.3 本章小结第42-43页
第四章 任意扭转轴位置的穿孔矩形扭转谐振器件挤压膜阻尼模型第43-71页
    4.1 任意扭转轴位置的穿孔矩形扭转谐振器件的挤压膜阻尼理论模型第43-50页
        4.1.1 运动微分方程第44-46页
        4.1.2 基于双正弦级数的挤压膜阻尼模型第46-50页
    4.2 理论结果与ANSYS有限元仿真结果的比较第50-69页
        4.2.1 扭转轴为任意位置时的穿孔矩形板的挤压膜阻尼有限元模型的建立第51-54页
        4.2.2 矩形板穿孔大小对挤压膜阻尼的影响第54-57页
        4.2.3 矩形板间隙气体厚度对挤压膜阻尼的影响第57-58页
        4.2.4 矩形板板厚对挤压膜阻尼的影响第58-61页
        4.2.5 扭转轴位置对挤压膜阻尼的影响第61-63页
        4.2.6 振动频率对挤压膜阻尼的影响第63-67页
        4.2.7 穿孔对矩形板挤压膜阻尼的影响第67-69页
    4.3 本章小结第69-71页
第五章 总结与展望第71-73页
    5.1 文章总结第71-72页
    5.2 文章不足之处第72页
    5.3 研究展望第72-73页
参考文献第73-77页
致谢第77-79页
附录 A 未穿孔矩形板扭转振动挤压膜阻尼相关计算程序第79-85页
    A-1.求解挤压膜阻尼理论解Matlab程序第79-80页
    A.2求解挤压膜阻尼数值解ANSYS程序第80-85页
附录 B 穿孔矩形板扭转谐振器挤压膜阻尼相关计算程序第85-93页
    B-1.求解挤压膜阻尼理论解Matlab程序第85-86页
    B-2.求解穿孔矩形板挤压膜阻尼数值解ANSYS程序第86-93页
附录 C 攻读硕士学位期间研究成果第93页

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