| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 类金刚石薄膜 | 第11-13页 |
| 1.1.1 类金刚石薄膜的定义 | 第11页 |
| 1.1.2 DLC薄膜的结构 | 第11-12页 |
| 1.1.3 DLC薄膜的性能与应用 | 第12-13页 |
| 1.2 DLC薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| 1.2.1 离子束沉积法 | 第13页 |
| 1.2.2 脉冲激光沉积 | 第13-14页 |
| 1.2.3 磁过滤真空阴极电弧沉积法 | 第14页 |
| 1.2.4 热丝化学气相沉积法 | 第14页 |
| 1.2.5 激光液相沉积法 | 第14-15页 |
| 1.2.6 燃烧法 | 第15页 |
| 1.3 薄膜的成分、结构和形貌表征 | 第15-16页 |
| 1.4 薄膜的性能缺陷及优化 | 第16-17页 |
| 1.5 本文主要研究目的及内容 | 第17-18页 |
| 2 薄膜的制备、表征与测试 | 第18-30页 |
| 2.1 镀膜装置及原理 | 第18-19页 |
| 2.2 薄膜的制备流程 | 第19-21页 |
| 2.3 薄膜的成分、结构和形貌表征 | 第21-25页 |
| 2.3.1 拉曼光谱仪 | 第22页 |
| 2.3.2 X-射线光电子能谱仪 | 第22-23页 |
| 2.3.3 原子力显微镜 | 第23-24页 |
| 2.3.4 扫描电子显微镜 | 第24页 |
| 2.3.5 俄歇电子能谱 | 第24-25页 |
| 2.4 薄膜机械力学性能和摩擦学性能测试 | 第25-27页 |
| 2.4.1 薄膜硬度与弹性模量 | 第25-26页 |
| 2.4.2 薄膜的摩擦学性能 | 第26-27页 |
| 2.5 薄膜润湿及抗腐蚀性能测试 | 第27-30页 |
| 2.5.1 薄膜润湿性能 | 第27-28页 |
| 2.5.2 薄膜抗腐蚀性能 | 第28-30页 |
| 3 Ti掺杂对类金刚石薄膜性能的影响 | 第30-42页 |
| 3.1 实验仪器及耗材 | 第30页 |
| 3.2 薄膜制备工艺参数 | 第30-31页 |
| 3.3 薄膜结构、成分与形貌分析 | 第31-36页 |
| 3.3.1 Raman光谱分析 | 第31-32页 |
| 3.3.2 XPS分析 | 第32-34页 |
| 3.3.3 EDS分析 | 第34-35页 |
| 3.3.4 AES分析 | 第35页 |
| 3.3.5 AFM分析 | 第35-36页 |
| 3.4 薄膜的机械力学性能 | 第36-39页 |
| 3.4.1 硬度与弹性模量 | 第36-37页 |
| 3.4.2 摩擦磨损性能 | 第37-39页 |
| 3.5 薄膜的润湿性和抗腐蚀性能 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 Cr掺杂和Cr过渡层对类金刚石薄膜性能的影响 | 第42-51页 |
| 4.1 实验仪器及耗材 | 第42-43页 |
| 4.2 薄膜制备工艺参数 | 第43页 |
| 4.3 薄膜结构、成分与形貌分析 | 第43-46页 |
| 4.3.1 Raman光谱分析 | 第43-44页 |
| 4.3.2 XPS分析 | 第44-45页 |
| 4.3.3 AFM分析 | 第45-46页 |
| 4.4 薄膜的机械力学性能 | 第46-49页 |
| 4.4.1 硬度与弹性模量 | 第46-47页 |
| 4.4.2 摩擦磨损性能 | 第47-49页 |
| 4.5 薄膜的润湿性及抗腐蚀性能 | 第49-50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 (Ni,Cr)双金属掺杂对类金刚薄膜的性能影响 | 第51-59页 |
| 5.1 实验仪器及耗材 | 第51-52页 |
| 5.2 薄膜制备工艺 | 第52页 |
| 5.3 薄膜结构、组成与形貌分析 | 第52-55页 |
| 5.3.1 Raman光谱分析 | 第52-53页 |
| 5.3.2 元素成分分析 | 第53-55页 |
| 5.3.3 AFM分析 | 第55页 |
| 5.4 薄膜的机械力学性能分析 | 第55-56页 |
| 5.5 薄膜的疏水性能及耐腐蚀性能分析 | 第56-58页 |
| 5.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 全文结论 | 第59-60页 |
| 研究展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-70页 |
| 附录 | 第70页 |