| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 声表面波以及声表面波器件 | 第10-13页 |
| 1.1.1 声表面波简介和基本概念 | 第10-11页 |
| 1.1.2 声表面波器件的基本结构和工作原理 | 第11-12页 |
| 1.1.3 声表面波器件制造和封装技术的发展 | 第12-13页 |
| 1.2 声表面波声子晶体及声表面波微流体简介 | 第13-20页 |
| 1.2.1 声子晶体的类型及性质 | 第13-17页 |
| 1.2.2 声表面波微流体的发展及应用 | 第17-20页 |
| 1.3 本论文的研究目的和工作内容 | 第20-22页 |
| 参考文献 | 第22-26页 |
| 第二章 声表面波器件的设计制备及表征 | 第26-54页 |
| 2.1 声表面波器件的制备工艺 | 第26-33页 |
| 2.1.1 引言 | 第26-27页 |
| 2.1.2 金属叉指换能器的制作 | 第27-31页 |
| 2.1.3 两种主要的叉指换能器制备方法 | 第31-33页 |
| 2.2 声子晶体的设计及制备 | 第33-44页 |
| 2.2.1 两种主要的声子晶体 | 第33-37页 |
| 2.2.2 等离子体刻蚀制备声子晶体 | 第37-41页 |
| 2.2.3 电镀工艺制备声子晶体 | 第41-44页 |
| 2.3 微流体芯片的设计与制备 | 第44-49页 |
| 2.3.1 深硅刻蚀工艺制备硅模板 | 第44-46页 |
| 2.3.2 微流体通道的倒膜与键合 | 第46-49页 |
| 2.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 第三章 基于铌酸锂表面的声子晶体及微流体的应用研究 | 第54-68页 |
| 3.1 局域共振型表面波声子晶体的研究 | 第54-58页 |
| 3.1.1 理论研究 | 第54-56页 |
| 3.1.2 声子晶体的能带结构 | 第56-57页 |
| 3.1.3 透过率实验 | 第57-58页 |
| 3.2 声表面波驱动微流体研究 | 第58-63页 |
| 3.2.1 表面波驱动液滴流动原理 | 第59-60页 |
| 3.2.2 表面波驱动液滴反向流动 | 第60-63页 |
| 3.3 本章小结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 第四章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 4.1 总结 | 第68-69页 |
| 4.2 展望 | 第69-70页 |
| 硕士期间发表文章 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |