| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 引言 | 第14-17页 |
| 1.1.1 传感器概述 | 第14-15页 |
| 1.1.2 MEMS技术简介 | 第15-17页 |
| 1.2 微悬臂梁传感技术 | 第17-21页 |
| 1.2.1 微梁传感器的工作模式 | 第17-19页 |
| 1.2.2 微梁传感的数据读出方式 | 第19-21页 |
| 1.2.2.1 光学法 | 第19-20页 |
| 1.2.2.2 压阻式 | 第20页 |
| 1.2.2.3 压电式 | 第20-21页 |
| 1.2.2.4 电容式 | 第21页 |
| 1.3 微悬臂梁传感器研究进展 | 第21-24页 |
| 1.3.1 微悬臂梁传感器发展历史 | 第21-22页 |
| 1.3.2 微悬臂梁传感器的应用 | 第22-24页 |
| 1.4 微悬臂梁阵列实现方式研究进展 | 第24-28页 |
| 1.4.1 多激光检测法 | 第24-26页 |
| 1.4.2 单激光器逐点检测方法 | 第26-28页 |
| 1.5 本文主要内容 | 第28-30页 |
| 2 微悬臂梁阵列传感系统结构设计及研究 | 第30-48页 |
| 2.1 系统结构设计原理 | 第30-31页 |
| 2.2 系统结构的优化设计 | 第31-38页 |
| 2.2.1 激光器的选型 | 第31-35页 |
| 2.2.2 夹持装置的优化设计 | 第35页 |
| 2.2.3 电机的选择 | 第35-36页 |
| 2.2.4 转动台结构设计 | 第36-37页 |
| 2.2.5 通光孔的遮光板设计 | 第37-38页 |
| 2.3 显微放大技术 | 第38-40页 |
| 2.4 光电位置敏感探测器工作特性的研究 | 第40-45页 |
| 2.4.1 四象限探测器的工作原理 | 第41-43页 |
| 2.4.2 光强对四象限探测器测量精度的影响 | 第43-44页 |
| 2.4.3 光斑半径大小对四象限探测器测量精度的影响 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-48页 |
| 3 微悬臂梁阵列传感系统数据采集技术的研究 | 第48-60页 |
| 3.1 微梁数据采集系统中数据采集卡的硬件设计 | 第48-53页 |
| 3.1.1 数据采集卡选型主要技术指标 | 第48-50页 |
| 3.1.2 数据采集卡的结构组成 | 第50-53页 |
| 3.1.2.1 模数转换芯片 | 第51页 |
| 3.1.2.2 单片机处理芯片 M430F149 | 第51-52页 |
| 3.1.2.3 数据采集卡中的电源模块 | 第52-53页 |
| 3.1.3 数据采集卡的技术规范 | 第53页 |
| 3.2 微梁数据采集系统中软件技术设计 | 第53-55页 |
| 3.2.1 虚拟仪器 | 第53-54页 |
| 3.2.2 Labview图形化编程软件 | 第54-55页 |
| 3.3 微梁阵列系统中基于Labview的数据采集程序设计 | 第55-59页 |
| 3.3.1 数据采集模块 | 第56-58页 |
| 3.3.2 数据处理模块 | 第58-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 4 微悬臂梁阵列传感系统实现与研究 | 第60-72页 |
| 4.1 转动方式扫描阵列微梁传感系统的实现 | 第60-63页 |
| 4.1.1 系统硬件平台搭建 | 第60-61页 |
| 4.1.2 系统软件平台设计 | 第61-63页 |
| 4.2 稳定性测试 | 第63-64页 |
| 4.3 阵列信号一致性测试 | 第64-66页 |
| 4.4 光响应测试 | 第66-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-72页 |
| 5 总结与展望 | 第72-74页 |
| 5.1 全文工作总结 | 第72页 |
| 5.2 展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第80-81页 |