三维叠层气浮运动平台控制系统研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.2 光刻机原理与国内外现状 | 第13-16页 |
| 1.2.1 光刻机工作原理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 光刻机国内外现状 | 第14-16页 |
| 1.3 运动平台控制系统与国内外现状 | 第16-21页 |
| 1.3.1 运动平台与控制系统结构 | 第16-19页 |
| 1.3.2 运动平台国内外现状 | 第19-21页 |
| 1.4 光刻机高精运动平台性能要求 | 第21-22页 |
| 1.5 课题来源与主要研究内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第22页 |
| 1.5.2 研究内容与结构安排 | 第22-24页 |
| 2 运动平台控制系统结构设计 | 第24-29页 |
| 2.1 气浮运动平台结构 | 第24-26页 |
| 2.2 运动平台控制系统结构 | 第26-28页 |
| 2.3 运动平台控制系统关键问题 | 第28-29页 |
| 3 运动平台控制方法与原理 | 第29-59页 |
| 3.1 运动平台位移驱动部件的坐标变换 | 第29-31页 |
| 3.2 位移驱动部件模型分析 | 第31-43页 |
| 3.2.1 直线电机控制模型 | 第31-35页 |
| 3.2.2 伺服电机控制模型 | 第35页 |
| 3.2.3 压电致动器控制模型 | 第35-41页 |
| 3.2.4 控制系统PID算法 | 第41-43页 |
| 3.3 大、行程运动的速度曲线规划 | 第43-53页 |
| 3.4 控制系统硬件构架设计 | 第53-59页 |
| 4 系统硬件与软件设计 | 第59-94页 |
| 4.1 运动控制卡电路设计 | 第59-67页 |
| 4.1.1 控制卡硬件构架 | 第59-60页 |
| 4.1.2 DSP模块 | 第60-61页 |
| 4.1.3 FPGA模块 | 第61-62页 |
| 4.1.4 控制接口模块 | 第62-64页 |
| 4.1.5 数据通讯模块 | 第64-65页 |
| 4.1.6 电源与基准源模块 | 第65-67页 |
| 4.2 压电驱动控制器电路设计 | 第67-75页 |
| 4.2.1 控制器硬件构架 | 第67-68页 |
| 4.2.2 FPGA主控模块 | 第68页 |
| 4.2.3 CAN通讯模块 | 第68-69页 |
| 4.2.4 数模与模数转换模块 | 第69-71页 |
| 4.2.5 信号调理模块 | 第71-74页 |
| 4.2.6 辅助模块 | 第74-75页 |
| 4.2.7 电源与基准源模块 | 第75页 |
| 4.3 电路板级设计与调试 | 第75-78页 |
| 4.4 运动控制卡逻辑设计 | 第78-84页 |
| 4.4.1 PCI通讯模块 | 第78-80页 |
| 4.4.2 DSP通讯模块 | 第80-81页 |
| 4.4.3 QEP模块 | 第81-82页 |
| 4.4.4 脉冲/方向输出模块 | 第82-84页 |
| 4.5 压电驱动控制器逻辑设计 | 第84-91页 |
| 4.5.1 CAN通讯模块 | 第84-88页 |
| 4.5.2 DAC控制模块 | 第88-89页 |
| 4.5.3 ADC控制模块 | 第89-90页 |
| 4.5.4 反馈控制模块 | 第90-91页 |
| 4.6 运动控制软件设计 | 第91-94页 |
| 4.6.1 主程序设计 | 第91页 |
| 4.6.2 中断程序设计 | 第91-93页 |
| 4.6.3 开方计算函数 | 第93-94页 |
| 5 仿真与实验 | 第94-101页 |
| 5.1 运动平台控制系统的搭建 | 第94页 |
| 5.2 通讯实验 | 第94-97页 |
| 5.2.1 PCI总线通讯 | 第94-95页 |
| 5.2.2 CAN总线 | 第95-97页 |
| 5.3 模拟信号输出测试 | 第97-98页 |
| 5.4 直线电机控制实验 | 第98-99页 |
| 5.5 压电致动器驱动控制实验 | 第99-101页 |
| 6 结论与展望 | 第101-103页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第101页 |
| 6.2 工作展望 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-107页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第107页 |
