| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 氮化铝、铝镓氮的基本性质 | 第10-12页 |
| 1.3 氮化铝、铝镓氮的应用前景 | 第12-13页 |
| 1.4 前人的研究工作 | 第13页 |
| 1.5 样品生长技术及样品简介 | 第13-15页 |
| 1.6 椭偏仪原理 | 第15-17页 |
| 1.7 拉曼测试原理 | 第17-20页 |
| 1.8 透射光谱原理 | 第20-22页 |
| 1.9 本论文的主要工作 | 第22-24页 |
| 第二章 AlN及高Al组分AlGaN薄膜椭圆偏振光谱分析 | 第24-43页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 实验测试仪器 | 第24页 |
| 2.3 色散模型 | 第24-26页 |
| 2.4 椭偏仪测试流程及数据处理 | 第26-28页 |
| 2.5 高Al组分AlGaN薄膜椭偏分析 | 第28-34页 |
| 2.5.1 常温下的AlGaN椭偏光谱分析 | 第28-32页 |
| 2.5.2 高温下的AlGaN椭偏光谱分析 | 第32-34页 |
| 2.6 氮化铝薄膜椭偏分析 | 第34-42页 |
| 2.6.1 常温下的AlN椭偏光谱分析 | 第34-37页 |
| 2.6.2 高温下的AlN椭偏光谱分析 | 第37-42页 |
| 2.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 AlN及高Al组分AlGaN薄膜的拉曼分析 | 第43-51页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 实验仪器 | 第43页 |
| 3.3 常温下AlN及高Al组分AlGaN薄膜的拉曼分析 | 第43-47页 |
| 3.4 氮化铝拉曼空间相关模型分析 | 第47-48页 |
| 3.5 变温下AlN薄膜的拉曼分析 | 第48-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 AlN及高Al组分AlGaN薄膜的深紫外透射光谱分析 | 第51-57页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 实验仪器介绍 | 第51-52页 |
| 4.3 常温下AlN及高Al组分AlGaN薄膜的透射光谱分析 | 第52-53页 |
| 4.4 低温下AlN及高Al组分AlGaN薄膜的透射光谱分析 | 第53-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 总结和展望 | 第57-59页 |
| 5.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 5.2 研究展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文及研究成果 | 第66页 |
