| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 真空弧离子源——复杂混合粒子束的产生 | 第14-17页 |
| 1.1.1 真空弧放电及真空弧离子源 | 第14-15页 |
| 1.1.2 真空弧离子源的国内外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.1.3 含氘真空弧离子源结构及束流特点 | 第16-17页 |
| 1.2 金属氘化物的物理特性 | 第17-19页 |
| 1.2.1 金属氘化物源片 | 第18-19页 |
| 1.2.2 金属氘化物靶膜 | 第19页 |
| 1.3 离子束与含氘靶膜的相互作用 | 第19-26页 |
| 1.2.1 离子束在靶物质中的沉积行为 | 第19-21页 |
| 1.2.2 离子束对靶物质的辐照损伤 | 第21-23页 |
| 1.2.3 国内外研究现状 | 第23-26页 |
| 1.4 本论文工作研究内容及技术路线 | 第26-33页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第27-28页 |
| 1.4.2 研究方案和技术路线 | 第28-30页 |
| 1.4.3. 创新点 | 第30-33页 |
| 第2章 实验材料、设备和实验方法 | 第33-45页 |
| 2.1 实验材料 | 第33页 |
| 2.1.1 金属材料 | 第33页 |
| 2.1.2 气体 | 第33页 |
| 2.1.3 单晶基片 | 第33页 |
| 2.2 磁控溅射镀膜机及氘化锆薄膜制备 | 第33-37页 |
| 2.3 高温吸氢平台及氘化钛源片制备 | 第37-38页 |
| 2.4 离子注入和原子沉积设备 | 第38-40页 |
| 2.4.1 金属Ti离子注入实验 | 第38-39页 |
| 2.4.2 氘离子注入实验 | 第39页 |
| 2.4.3 中子发生器平台——金属钛蒸汽沉积实验 | 第39-40页 |
| 2.5 材料性能表征方法 | 第40-45页 |
| 2.5.1 显微观测方法 | 第40页 |
| 2.5.2 XRD | 第40页 |
| 2.5.3 二次离子质谱 | 第40-41页 |
| 2.5.4 离子束分析方法 | 第41-42页 |
| 2.5.5 基于可变能量慢正电子束的多普勒展宽谱测量 | 第42-43页 |
| 2.5.6 氘氘中子产额测试 | 第43-45页 |
| 第3章 束流沉积的热效应研究 | 第45-67页 |
| 3.1 束流沉积热效应模拟及建模 | 第46-49页 |
| 3.2 脉冲氘离子注入氘化锆薄膜的温度-应力场研究 | 第49-58页 |
| 3.2.1 不同束斑直径下束流与靶作用的表面温度场和应力场分布 | 第50-53页 |
| 3.2.2 不同脉冲宽度下束流与靶作用的表面温度场和应力场分布 | 第53-56页 |
| 3.2.3 不同离子流强下束流与靶作用的表面温度场和应力场分布 | 第56-58页 |
| 3.3 脉冲钛离子注入氘化锆薄膜的温度-应力场研究 | 第58-66页 |
| 3.3.1 不同束斑直径下束流与靶作用的表面温度场和应力场分布 | 第58-61页 |
| 3.3.2 不同脉冲宽度下束流与靶作用的表面温度场和应力场分布 | 第61-64页 |
| 3.3.3 不同离子流强下束流与靶作用的表面温度场和应力场分布 | 第64-66页 |
| 3.4 小结 | 第66-67页 |
| 第4章 金属离子对氘化锆薄膜的辐照损伤研究 | 第67-83页 |
| 4.1 金属钛离子注入氘化锆薄膜的表面形貌 | 第67-70页 |
| 4.2 金属钛离子注入氘化锆薄膜的元素成分变化规律 | 第70-75页 |
| 4.3 金属钛离子注入氘化锆薄膜的微观缺陷变化规律 | 第75-79页 |
| 4.4 金属钛离子注入氘化锆薄膜后的氘氘核反应中子产额测试 | 第79-80页 |
| 4.5 小结 | 第80-83页 |
| 第5章 大剂量氘离子注入氘化锆靶膜的沉积、扩散行为及辐照损伤研究 | 第83-105页 |
| 5.1 大剂量氘离子注入氘化锆靶膜的表面形貌和物相变化 | 第83-87页 |
| 5.2 大剂量氘离子注入氘化锆薄膜的元素成分变化规律 | 第87-95页 |
| 5.3 大剂量氘离子注入氘化锆薄膜的微观缺陷变化规律 | 第95-99页 |
| 5.4 大剂量氘离子注入氘化锆薄膜后的氘氘核反应中子产额测试 | 第99-102页 |
| 5.5 小结 | 第102-105页 |
| 第6章 金属蒸汽沉积氘化锆靶膜表面对中子产额和波动性影响的研究 | 第105-115页 |
| 6.1 金属原子沉积氘化锆薄膜的表面形貌变化 | 第105-108页 |
| 6.2 金属原子沉积氘化锆薄膜的元素成分变化规律 | 第108-112页 |
| 6.3 金属钛蒸汽沉积氘化锆薄膜后的氘氘核反应中子产额测试 | 第112-113页 |
| 6.4 小结 | 第113-115页 |
| 第7章 总结 | 第115-119页 |
| 参考文献 | 第119-127页 |
| 致谢 | 第127-129页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第129-131页 |
