| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题背景 | 第11页 |
| 1.2 课题研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外 SEM 下信息提取与控制的发展和研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 现有 SEM 下纳米操作信息提取和控制的技术缺陷 | 第14-16页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 探针平面位置坐标获取 | 第17-26页 |
| 2.1 现有系统的平面坐标提取方法简介 | 第17-20页 |
| 2.1.1 Hough 变换边缘提取算法简介 | 第17-19页 |
| 2.1.2 Canny 边缘检测算法简介 | 第19-20页 |
| 2.2 改进的边缘提取方法 | 第20-22页 |
| 2.2.1 Matlab 工具箱边缘提取技术简介 | 第20-22页 |
| 2.2.2 Matlab 工具箱边缘提取算子的比较 | 第22页 |
| 2.3 平面位置坐标提取方法 | 第22-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 探针深度位置坐标获取 | 第26-34页 |
| 3.1 实验图片的统计分析 | 第26-29页 |
| 3.1.1 针尖深度坐标确定的理论基础 | 第27-28页 |
| 3.1.2 图像的获取与处理 | 第28-29页 |
| 3.2 数据拟合与实验分析 | 第29-33页 |
| 3.2.1 离散数据拟合 | 第29-32页 |
| 3.2.2 实验分析 | 第32-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 探针轨迹规划 | 第34-45页 |
| 4.1 探针轨迹规划方法研究 | 第35-39页 |
| 4.1.1 三次函数轨迹规划方法 | 第36-37页 |
| 4.1.2 五次函数轨迹规划方法 | 第37-39页 |
| 4.2 仿真验证与分析 | 第39-44页 |
| 4.2.1 仿真验证 | 第39-43页 |
| 4.2.2 仿真结果分析 | 第43-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 探针轨迹跟踪控制 | 第45-58页 |
| 5.1 基于前馈和反馈联合控制的基本原理 | 第45-47页 |
| 5.2 参数不确定系统的误差分析 | 第47-48页 |
| 5.3 控制器的设计和优化计算基本原理 | 第48-51页 |
| 5.3.1 前馈控制器的设计和优化原理 | 第48-50页 |
| 5.3.2 反馈控制器设计原理 | 第50-51页 |
| 5.4 Attocube 控制器设计及 Matlab 仿真分析 | 第51-57页 |
| 5.4.1 Attocube 前馈和反馈控制器设计 | 第51-53页 |
| 5.4.2 Matlab 仿真实验及分析 | 第53-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
