摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-22页 |
1.1 前言 | 第10页 |
1.2 RRAM 的研究发展 | 第10-17页 |
1.2.1 RRAM 阻变行为类型 | 第11-12页 |
1.2.2 电致阻变的材料 | 第12-13页 |
1.2.3 电致阻变机制 | 第13-17页 |
1.3 本论文的选题背景以及思路 | 第17-18页 |
参考文献 | 第18-22页 |
第2章 阻变存储器件的制备方法及电学性质测试 | 第22-32页 |
2.1 薄膜沉积方法 | 第22-25页 |
2.1.1 脉冲激光沉积(PLD)简介 | 第22-24页 |
2.1.2 磁控溅射沉积技术 | 第24-25页 |
2.1.3 离子溅射技术 | 第25页 |
2.2 表征仪器—— X 射线衍射仪 | 第25-26页 |
2.3 RRAM 的电学性能测试系统 | 第26-27页 |
2.3.1 电学性质测试系统组成 | 第26-27页 |
2.3.2 Keithley 2400 简介 | 第27页 |
2.4 本章小结 | 第27-29页 |
参考文献 | 第29-32页 |
第3章 PBCO 陶瓷器件的电致阻变特性初探 | 第32-46页 |
3.1 前言 | 第32-33页 |
3.2 实验 | 第33-34页 |
3.2.1 PBCO 陶瓷的制备 | 第33页 |
3.2.2 Pt/PBCO/Pt 器件的完成 | 第33-34页 |
3.2.3 Ag/PBCO/Ag 器件的完成 | 第34页 |
3.2.4 Pt/PBCO/Pt、Ag/PBCO/Ag 陶瓷器件的表征 | 第34页 |
3.3 结果与讨论 | 第34-42页 |
3.3.1 PBCO 陶瓷的 XRD 分析 | 第34-35页 |
3.3.2 Pt/PBCO/Pt 陶瓷器件的电致阻变特性 | 第35-39页 |
3.3.3 Ag/PBCO/Ag 陶瓷器件的电致阻变特性 | 第39-42页 |
3.4 本章小结 | 第42-44页 |
参考文献 | 第44-46页 |
第4章 Pt/PBCO/Pt 器件的电致阻变特性 | 第46-60页 |
4.1 前言 | 第46页 |
4.2 实验 | 第46-47页 |
4.2.1 Pt/PBCO/Pt 器件的完成 | 第46-47页 |
4.2.2 Pt/PBCO/Pt 陶瓷器件的表征 | 第47页 |
4.3 结果与讨论 | 第47-56页 |
4.4 本章小结 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-60页 |
第5章 PCO 陶瓷的电阻开关特性初探 | 第60-72页 |
5.1 前言 | 第60页 |
5.2 实验 | 第60-61页 |
5.2.1 PCO 陶瓷的制备 | 第60页 |
5.2.2 在 PCO 陶瓷上焊 In、镀 Au 和镀 Pt 电极的完成 | 第60-61页 |
5.2.3 In/PCO/In、In/PCO/Au、Au/PCO/Au、Pt/PCO/Pt 陶瓷器件的表征 | 第61页 |
5.3 结果与讨论 | 第61-69页 |
5.3.1 PCO 陶瓷的 XRD 分析 | 第61-62页 |
5.3.2 In/PCO/In、In/PCO/Au、Au/PCO/Au、Pt/PCO/Pt 器件的电致阻变特性 | 第62-67页 |
5.3.3 PCO 器件的低温和光伏分析 | 第67-69页 |
5.4 本章小结 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-72页 |
攻读学位期间发表的论文 | 第72-74页 |
致谢 | 第74-75页 |