用于同步辐射X射线光束诊断的多晶CVD金刚石探测器研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 同步辐射介绍 | 第10-14页 |
| 1.1.1 同步辐射的发展 | 第10-12页 |
| 1.1.2 同步辐射的主要特性 | 第12-13页 |
| 1.1.3 同步辐射的应用 | 第13-14页 |
| 1.2 同步辐射探测器介绍 | 第14-21页 |
| 1.2.1 同步辐射探测器的地位 | 第14-15页 |
| 1.2.2 同步辐射探测器的种类 | 第15-21页 |
| 1.3 课题意义和研究内容 | 第21-23页 |
| 1.3.1 课题的意义和目的 | 第21页 |
| 1.3.2 研究内容和方法 | 第21-23页 |
| 2 金刚石介绍 | 第23-28页 |
| 2.1 金刚石的晶体结构 | 第23-24页 |
| 2.2 金刚石的人工合成方法 | 第24-26页 |
| 2.2.1 高温高压法 | 第24-25页 |
| 2.2.2 化学气相沉积法 | 第25-26页 |
| 2.3 金刚石的性质 | 第26-28页 |
| 3 金刚石探测器的研制 | 第28-46页 |
| 3.1 金刚石探测器的理论依据 | 第28-36页 |
| 3.1.1 X射线与金刚石的相互作用 | 第28-33页 |
| 3.1.2 金刚石探测器的工作原理 | 第33-36页 |
| 3.2 金刚石探测器的电极设计 | 第36-39页 |
| 3.2.1 探测器的电极结构设计 | 第36-37页 |
| 3.2.2 探测器的电极材料选择 | 第37-38页 |
| 3.2.3 探测器电极的尺寸设计 | 第38-39页 |
| 3.3 金刚石的选材与规格尺寸 | 第39-40页 |
| 3.4 金刚石探测器的制作 | 第40-43页 |
| 3.4.1 CVD金刚石薄膜后处理 | 第40-41页 |
| 3.4.2 反应离子刻蚀 | 第41-42页 |
| 3.4.3 光刻与镀膜 | 第42-43页 |
| 3.4.4 探测器的封装 | 第43页 |
| 3.5 金刚石探测器的特点 | 第43-46页 |
| 4 金刚石探测器主要性能研究 | 第46-54页 |
| 4.1 探测器的光强测量性能 | 第46-50页 |
| 4.1.1 探测器的光强测量灵敏度 | 第46-48页 |
| 4.1.2 X射线在金刚石里的能量沉积 | 第48-49页 |
| 4.1.3 探测器的光强测量精度 | 第49-50页 |
| 4.2 探测器的位置分辨性能 | 第50-54页 |
| 4.2.1 X射线位置测量原理 | 第50-51页 |
| 4.2.2 位置分辨率与电极间距的关系 | 第51-52页 |
| 4.2.3 位置分辨率与X射线光斑大小的关系 | 第52-54页 |
| 5 探测器的测试与结果 | 第54-64页 |
| 5.1 探测器的暗电流测试 | 第55-57页 |
| 5.1.1 探测器暗电流的伏安特性曲线 | 第55-56页 |
| 5.1.2 探测器暗电流的影响因素 | 第56-57页 |
| 5.2 探测器的X射线光强测试 | 第57-61页 |
| 5.2.1 探测器光强诊断的可靠性 | 第57-59页 |
| 5.2.2 探测器光强监测的在线测试 | 第59-60页 |
| 5.2.3 探测器的光强测量精度 | 第60-61页 |
| 5.3 探测器的光束位置测量 | 第61-64页 |
| 5.3.1 空间分辨率的直接测量 | 第61-62页 |
| 5.3.2 空间分辨率的间接测量 | 第62-64页 |
| 6 结论与展望 | 第64-67页 |
| 6.1 结论 | 第64-65页 |
| 6.2 工作展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
