| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·无覆层声表面波气体传感器的系统介绍 | 第9-12页 |
| ·化学毒剂的危害 | 第9页 |
| ·气相色谱法简介 | 第9-10页 |
| ·无覆层SAW 气体传感器的优点 | 第10-11页 |
| ·超高速色谱法的系统结构 | 第11-12页 |
| ·声表面波传感器的结构与工作原理 | 第12-15页 |
| ·声表面波谐振器的要求 | 第12页 |
| ·声表面波传感器的基本结构 | 第12-15页 |
| ·声表面波传感器的发展现状 | 第15-16页 |
| ·国外发展现状 | 第15页 |
| ·国内发展现状 | 第15-16页 |
| ·本课题的研究意义及主要工作 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 类金刚石膜的性质及制备方法 | 第17-28页 |
| ·类金刚石的结构与性质 | 第17-20页 |
| ·类金刚石的结构 | 第17-18页 |
| ·类金刚石的性质与应用 | 第18-19页 |
| ·类金刚石薄膜制备中存在的普遍问题 | 第19-20页 |
| ·类金刚石的制备方法 | 第20-24页 |
| ·物理气相沉积 | 第20-22页 |
| ·化学气相沉积 | 第22-24页 |
| ·类金刚石的制备工艺 | 第24-27页 |
| ·实验设备 | 第24-25页 |
| ·实验前预处理 | 第25-26页 |
| ·实验操作流程 | 第26页 |
| ·实验条件 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 类金刚石膜的表征及特性分析 | 第28-43页 |
| ·结构分析 | 第28-40页 |
| ·红外傅立叶光谱分析(FTIR) | 第28-37页 |
| ·Raman 光谱分析（Raman） | 第37-40页 |
| ·类金刚石薄膜的形貌分析 | 第40-42页 |
| ·表面形貌分析 | 第40-41页 |
| ·剖面分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 DLC/ZnO/Si 和 DLC/ZnO/金刚石多层膜结构的制备初探 | 第43-51页 |
| ·多层膜的制备 | 第43-44页 |
| ·实验设备简介 | 第43页 |
| ·衬底的处理 | 第43-44页 |
| ·靶材的处理 | 第44页 |
| ·DLC/ZnO/Si 多层膜的制备 | 第44-46页 |
| ·DLC/ZnO/Si 多层膜的制备工艺 | 第44页 |
| ·DLC/ZnO/Si 多层膜的表征分析 | 第44-46页 |
| ·DLC/ZnO/ | 第46-47页 |
| ·DLC/ZnO/金刚石多层膜的制备工艺 | 第46页 |
| ·DLC/ZnO/金刚石多层膜的表征分析 | 第46-47页 |
| ·DLC/金刚石多层膜的制备 | 第47-50页 |
| ·制备工艺 | 第47-48页 |
| ·形貌分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 结论与设想 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |