高加速度轻载精密运动机构的减振控制研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.2 输入整形技术的发展 | 第9-11页 |
| 1.3 研究的目的和意义 | 第11页 |
| 1.4 论文内容 | 第11-13页 |
| 第2章 运动规划 | 第13-21页 |
| 2.1 三种运动规划 | 第13页 |
| 2.2 实验方法 | 第13-16页 |
| 2.2.1 硬件环境 | 第13-14页 |
| 2.2.2 软件环境 | 第14-16页 |
| 2.3 实验结果分析 | 第16-20页 |
| 2.3.1 两种插补方案的比较 | 第17-18页 |
| 2.3.2 伺服滤波器 PID 比较 | 第18-19页 |
| 2.3.3 三种运动规划比较 | 第19-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 输入整形器 | 第21-30页 |
| 3.1 系统的残余振动 | 第21-22页 |
| 3.2 典型的输入整形器 | 第22-25页 |
| 3.2.1 零振动(ZV)整形器 | 第22-23页 |
| 3.2.2 零振动零导数(ZVD)整形器 | 第23-24页 |
| 3.2.3 极不灵敏(EI)整形器 | 第24-25页 |
| 3.2.4 其他整形器 | 第25页 |
| 3.3 倒立摆输入整形器的仿真 | 第25-27页 |
| 3.4 输入整形器的实现 | 第27-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 输入整形器与闭环控制同步设计 | 第30-39页 |
| 4.1 标准二阶系统的同步设计 | 第30-37页 |
| 4.2.1 基本原理 | 第31-34页 |
| 4.2.2 优化计算 | 第34-35页 |
| 4.2.3 仿真比较 | 第35-37页 |
| 4.2 控制器的实现 | 第37-38页 |
| 4.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第5章 曲柄摇杆机构的减振实验 | 第39-47页 |
| 5.1 搭建实验平台 | 第39-42页 |
| 5.1.1 固晶机的曲柄摇杆机构 | 第39-40页 |
| 5.1.2 驱动器的调试 | 第40页 |
| 5.1.3 激光测振仪 | 第40-41页 |
| 5.1.4 示波器 | 第41-42页 |
| 5.2 建立系统模型 | 第42-45页 |
| 5.2.1 辨识电机位移对电压的模型 | 第42-43页 |
| 5.2.2 固晶臂振动模型的测定 | 第43-44页 |
| 5.2.3 系统的模型 | 第44-45页 |
| 5.3 实验和结果分析 | 第45-46页 |
| 5.3.1 确定系统模型 | 第45-46页 |
| 5.3.2 实验和结果分析 | 第46页 |
| 5.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 附录 | 第51-62页 |
| 梯形曲线 | 第51-53页 |
| S 形曲线 | 第53-55页 |
| 三次曲线 | 第55-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
