精密机械系统中的嵌入式时栅传感新技术研究
| 致谢 | 第8-9页 |
| 摘要 | 第9-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 1 绪论 | 第21-31页 |
| 1.1 精密机械系统中的位置检测方式 | 第21-24页 |
| 1.2 传感器嵌入式检测的国内外研究现状 | 第24-25页 |
| 1.3 时栅位移传感器简介及发展过程 | 第25-27页 |
| 1.4 本文的背景、来源及意义 | 第27-29页 |
| 1.5 本文研究的主要内容 | 第29-31页 |
| 2 嵌入式时栅传感理论研究 | 第31-49页 |
| 2.1 测量基准时空转换理论 | 第31-35页 |
| 2.1.1 时空转换思想实验 | 第31-32页 |
| 2.1.2 时空转换理论 | 第32-35页 |
| 2.2 自然行波与构造行波 | 第35-40页 |
| 2.2.1 自然行波 | 第35-37页 |
| 2.2.2 构造行波 | 第37-39页 |
| 2.2.3 自然行波与构造行波的异同点分析 | 第39-40页 |
| 2.3 嵌入式时栅行波形成方法 | 第40-47页 |
| 2.3.1 时栅中的旋转磁场 | 第41-42页 |
| 2.3.2 时栅电行波形成方法 | 第42-44页 |
| 2.3.3 嵌入式时栅行波形成方法 | 第44-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 3 嵌入式时栅角位移传感器设计 | 第49-65页 |
| 3.1 引言 | 第49页 |
| 3.2 传感器结构设计 | 第49-53页 |
| 3.2.1 测头与转子齿槽对应关系 | 第49-50页 |
| 3.2.2 两种结构的嵌入式时栅 | 第50-52页 |
| 3.2.3 原理性仿真 | 第52-53页 |
| 3.3 工作原理 | 第53页 |
| 3.4 硬件设计 | 第53-62页 |
| 3.4.1 正交激励模块 | 第53-56页 |
| 3.4.2 信号处理模块 | 第56-57页 |
| 3.4.3 时间测量模块 | 第57-60页 |
| 3.4.4 数据处理模块 | 第60-62页 |
| 3.5 软件设计 | 第62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-65页 |
| 4 嵌入式时栅角位移传感器实验研究 | 第65-91页 |
| 4.1 实验系统设计 | 第65-66页 |
| 4.2 行波形成实验 | 第66-68页 |
| 4.3 性能测试实验 | 第68-75页 |
| 4.3.1 稳定性实验 | 第68-70页 |
| 4.3.2 精度实验 | 第70-74页 |
| 4.3.3 重复性实验 | 第74-75页 |
| 4.4 误差来源分析与处理 | 第75-89页 |
| 4.4.1 系统误差 | 第76-88页 |
| 4.4.2 随机误差 | 第88-89页 |
| 4.5 本章小结 | 第89-91页 |
| 5 嵌入式时栅角位移传感器自标定新方法及技术 | 第91-115页 |
| 5.1 引言 | 第91页 |
| 5.2 传感器标定概述 | 第91-92页 |
| 5.3 传感器自标定发展现状 | 第92-93页 |
| 5.4 自标定原理分析 | 第93-105页 |
| 5.4.1 EDA自标定原理 | 第93-95页 |
| 5.4.2 PFD自标定原理 | 第95-99页 |
| 5.4.3 TDR门标定原理 | 第99-105页 |
| 5.5 嵌入式时栅角位移传感器自标定原理 | 第105-110页 |
| 5.5.1 FAS自标定原理 | 第105-107页 |
| 5.5.2 DQM自标定原理 | 第107-110页 |
| 5.6 嵌入式时栅角位移传感器自标定实验研究 | 第110-114页 |
| 5.6.1 FAS自标定实验研究 | 第110-112页 |
| 5.6.2 DQM自标定实验研究 | 第112-114页 |
| 5.7 本章小结 | 第114-115页 |
| 6 带角位移检测功能大型转台轴承的研制 | 第115-123页 |
| 6.1 引言 | 第115-116页 |
| 6.2 带角位移检测功能转台轴承测量原理 | 第116页 |
| 6.3 带检测功能轴承结构设计 | 第116-119页 |
| 6.3.1 齿栅加工方式 | 第117-118页 |
| 6.3.2 时栅测头设计 | 第118-119页 |
| 6.3.3 电子系统 | 第119页 |
| 6.4 性能测试 | 第119-121页 |
| 6.4.1 测试系统简介 | 第119-120页 |
| 6.4.2 性能指标测试 | 第120-121页 |
| 6.5 本章小结 | 第121-123页 |
| 7 总结与展望 | 第123-125页 |
| 7.1 总结 | 第123-124页 |
| 7.2 展望 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-131页 |
| 攻读博士学位期间的学术活动及成果情况 | 第131页 |
