基于法拉第效应的角度误差补偿式精密位移测量方法研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 综述 | 第10-21页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第11-19页 |
| 1.2.1 激光干涉位移测量方法现状 | 第11-16页 |
| 1.2.2 位移测量补偿方法研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 论文的研究内容及组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 测量系统的方案设计及理论分析 | 第21-35页 |
| 2.1 基于法拉第效应的逆返方法测量原理 | 第21页 |
| 2.2 系统方案设计 | 第21-22页 |
| 2.3 系统测量原理与分析 | 第22-33页 |
| 2.3.1 角度误差测量分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2 角度误差对位移测量的影响及补偿 | 第25-33页 |
| 2.4 测量系统机械结构设计 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 信号处理系统的研制 | 第35-48页 |
| 3.1 系统信号处理总体方案设计 | 第35-36页 |
| 3.2 激光外差干涉信号处理方法及实现 | 第36-40页 |
| 3.2.1 大数相位测量 | 第36-37页 |
| 3.2.2 小数相位测量 | 第37-38页 |
| 3.2.3 大小数相位结合 | 第38-39页 |
| 3.2.4 基于FPGA信号处理板的实现 | 第39-40页 |
| 3.3 光束位置探测信号处理方法及实现 | 第40-43页 |
| 3.3.1 位置敏感探测器原理及信号处理 | 第41-42页 |
| 3.3.2 光斑位置探测模块的实现 | 第42-43页 |
| 3.4 系统软件设计 | 第43-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 系统分析与误差评定 | 第48-56页 |
| 4.1 转角误差的解耦与测量 | 第48-49页 |
| 4.2 转角误差测量范围分析 | 第49-52页 |
| 4.2.1 偏摆角误差和俯仰角测量范围理论分析 | 第50-51页 |
| 4.2.2 仿真分析 | 第51-52页 |
| 4.3 转轴中心的影响分析 | 第52-53页 |
| 4.4 不确定度分析与评定 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 实验测试与分析 | 第56-65页 |
| 5.1 激光外差干涉信号处理方法验证实验的构建 | 第56-58页 |
| 5.1.1 大数相位测量计数验证实验 | 第56-57页 |
| 5.1.2 大小数结合验证实验 | 第57-58页 |
| 5.2 角度误差补偿式位移测量系统的构建 | 第58-59页 |
| 5.3 角度测量对比实验与分析 | 第59-61页 |
| 5.4 角度误差补偿式位移测量方法验证实验及分析 | 第61-62页 |
| 5.5 角度误差补偿式位移测量方法应用实验及分析 | 第62-64页 |
| 5.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-68页 |
| 6.1 总结 | 第65-66页 |
| 6.2 主要创新点 | 第66页 |
| 6.3 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第76页 |
