| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景及研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 环境振动对光学移相仪干涉测量的影响 | 第12-14页 |
| 1.3 移相干涉仪抗振技术研究发展现状 | 第14-20页 |
| 1.3.1 主动振动控制理论的研究进展 | 第15-17页 |
| 1.3.2 主动振动控制中作动器与传感器的研究及进展 | 第17-19页 |
| 1.3.3 主动振动控制系统建模与模型简化 | 第19-20页 |
| 1.4 论文的主要工作和内容安排 | 第20-22页 |
| 2 抗振控制系统鲁棒控制理论和智能控制器的比较研究 | 第22-49页 |
| 2.1 前言 | 第22页 |
| 2.2 鲁棒控制理论简介 | 第22-34页 |
| 2.2.1 鲁棒控制理论研究的基本问题 | 第23-24页 |
| 2.2.2 不确定性系统的描述及分类 | 第24-26页 |
| 2.2.3 标准H_∞控制问题及其稳定性 | 第26-29页 |
| 2.2.4 一般鲁棒控制问题 | 第29-34页 |
| 2.3 单自由度抗振控制系统的PID控制 | 第34-38页 |
| 2.3.1 PID控制 | 第34-36页 |
| 2.3.2 单自由度抗振控制系统PID控制仿真研究 | 第36-38页 |
| 2.4 单自由度抗振控制系统的LQG控制 | 第38-41页 |
| 2.4.1 单自由度抗振控制系统的LQG控制模型 | 第38-39页 |
| 2.4.2 单自由度抗振控制系统的LQG控制仿真研究 | 第39-41页 |
| 2.5 单自由度抗振控制系统的H_∞控制 | 第41-46页 |
| 2.5.1 单自由度抗振控制系统的H_∞控制理论 | 第41-43页 |
| 2.5.2 单自由度抗振控制系统的H_∞控制器设计 | 第43-44页 |
| 2.5.3 单自由度抗振控制系统的H_∞控制仿真研究 | 第44-46页 |
| 2.6 各振动控制算法的比较 | 第46-47页 |
| 2.7 本章小结 | 第47-49页 |
| 3 光学移相干涉仪抗振平台的振动控制技术 | 第49-68页 |
| 3.1 前言 | 第49页 |
| 3.2 光学移相干涉仪抗振平台的基础振动理论模型 | 第49-55页 |
| 3.2.1 光学移相干涉仪抗振平台结构的刚体动力学模型 | 第49-52页 |
| 3.2.2 抗振平台结构的振动响应 | 第52-53页 |
| 3.2.3 广义特征值问题 | 第53页 |
| 3.2.4 周期性激振的动力响应 | 第53-54页 |
| 3.2.5 平稳随机振动的动力响应 | 第54-55页 |
| 3.3 基于空气弹簧的光学移相干涉仪平台被动抗振隔离技术 | 第55-61页 |
| 3.3.1 空气弹簧振动隔离技术 | 第55-57页 |
| 3.3.2 空气弹簧的刚度计算 | 第57-58页 |
| 3.3.3 空气弹簧的振动模型及仿真 | 第58-61页 |
| 3.4 光学移相干涉仪平台主动抗振控制的压电驱动装置 | 第61-66页 |
| 3.4.1 压电作动器的结构及工作原理 | 第61-64页 |
| 3.4.2 压电作动器的作动方程 | 第64-65页 |
| 3.4.3 作动器的动力学模型 | 第65-66页 |
| 3.5 基于被动抗振和主动抗振的混合控制技术 | 第66-67页 |
| 3.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 4 小波分析在振动信号分析中的应用 | 第68-86页 |
| 4.1 前言 | 第68页 |
| 4.2 小波分析基础 | 第68-74页 |
| 4.2.1 小波理论及其时频局部化特征 | 第68-70页 |
| 4.2.2 小波变换 | 第70-71页 |
| 4.2.3 多分辨率分析(MRA)和小波变换的快速算法 | 第71-73页 |
| 4.2.4 小波变换的工程解释 | 第73-74页 |
| 4.3 振动信号小波时频分析 | 第74-79页 |
| 4.3.1 振动信号小波分析原理 | 第75-76页 |
| 4.3.2 振动信号小波时频特征 | 第76-79页 |
| 4.4 振动信号突变点检测 | 第79-80页 |
| 4.5 小波去噪分析 | 第80-83页 |
| 4.6 随机振动信号小波分析实例 | 第83-85页 |
| 4.7 本章小结 | 第85-86页 |
| 5 光学移相干涉仪抗振平台智能控制器设计与仿真 | 第86-98页 |
| 5.1 前言 | 第86页 |
| 5.2 光学移相干涉仪抗振平台控制系统的结构模型 | 第86-87页 |
| 5.3 光学移相干涉仪抗振平台系统的动力学分析和状态空间模型 | 第87-88页 |
| 5.4 光学移相干涉仪抗振平台随机振动信号的小波分析 | 第88-90页 |
| 5.5 光学移相干涉仪抗振平台鲁棒H_∞控制器设计与仿真 | 第90-93页 |
| 5.5.1 光学移相干涉仪抗振平台鲁棒H_∞控制器设计 | 第90-91页 |
| 5.5.2 光学移相干涉仪抗振平台鲁棒H_∞控制器仿真 | 第91-93页 |
| 5.6 光学移相干涉仪抗振平台μ控制器设计与仿真 | 第93-97页 |
| 5.6.1 μ控制器设计 | 第93-94页 |
| 5.6.2 光学移相干涉仪抗振平台μ控制器仿真 | 第94-97页 |
| 5.7 本章小结 | 第97-98页 |
| 6 光学移相干涉仪抗振平台智能控制实验研究 | 第98-106页 |
| 6.1 前言 | 第98页 |
| 6.2 光学移相干涉仪抗振平台智能控制实验系统 | 第98-100页 |
| 6.3 光学移相干涉仪抗振平台智能控制实验步骤及结果分析 | 第100-105页 |
| 6.3.1 实验步骤 | 第100-104页 |
| 6.3.2 实验结果分析 | 第104-105页 |
| 6.4 本章小结 | 第105-106页 |
| 7 总结与展望 | 第106-108页 |
| 7.1 本文所做的工作总结及创新点 | 第106-107页 |
| 7.2 有待解决的问题及展望 | 第107-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-118页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第118页 |
