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紫外诱导折变AWG材料基础研究

第一章 引言第7-15页
    1.1 波分复用技术(WDM)第7-8页
    1.2 列阵波导光栅波分复用器的研究进展第8-10页
    1.3 列阵波导光栅波分复用器的应用第10-15页
        1.3.1 光分束器/路由器第10-11页
        1.3.2 波长选择开关第11-12页
        1.3.3 光上路/下路复用器(ADM)第12-14页
        1.3.4 多频激光器第14-15页
第二章 列阵波导光栅(AWG)波分复用器的原理和主要特性第15-25页
    2.1 AWG的基本结构第15-16页
    2.2 AWG的工作原理第16-19页
    2.3 AWG 的相位误差补偿第19-20页
    2.4 AWG的温度误差补偿第20-22页
    2.5 AWG 的波长响应平坦化第22-23页
    2.6 AWG 的双折射控制第23-25页
第三章 列阵波导光栅(AWG)复用器的制作工艺第25-40页
    3.1 硅基二氧化硅材料制备第25-28页
        3.1.1 火焰水解法基本原理第26页
        3.1.2 火焰水解法淀积二氧化硅波导材料实验第26-27页
        3.1.3 高温致密化处理第27-28页
    3.2 掺杂二氧化锗的二氧化硅厚膜制备第28-29页
    3.3 二氧化硅膜性能分析第29-36页
        3.3.1 在高温管式电阻炉中退火处理后的薄膜性能分析第29-33页
        3.3.2 在高温电阻炉中和真空炉中退火处理后的薄膜性能分析比较第33-36页
    3.4 掺杂二氧化锗的二氧化硅膜的性能分析第36-40页
第四章 紫外光诱导 GeO2 SiO2膜折射率变化特性研究第40-50页
    4.1 紫外光诱导GeO2 SiO2膜的折射率变化机制第40-41页
    4.2 紫外光诱导GeO2 SiO2膜折射率变化机制的应用第41-43页
    4.3 紫外光诱导GeO2 SiO2薄膜折射率变化的实验研究第43-50页
        4.3.1 紫外光诱导实验过程第43-44页
        4.3.2 紫外光照前后薄膜表面特征分析第44-46页
        4.3.3 紫外光照前后薄膜的特性分析第46-50页
第五章 紫外写入列阵波导光栅器件基础研究第50-60页
    5.1 传统方法制作列阵波导光栅第50-51页
    5.2 紫外写入制作列阵波导光栅第51-55页
        5.2.1 实验步骤及流程图第51-53页
        5.2.2 紫外写入法制作的 AWG 器件优化第53-54页
        5.2.3 实验中面临的主要问题第54-55页
    5.3 紫外写入制作平面波导光栅第55-60页
结论第60-63页
参考文献第63-68页
致谢第68-69页
中文摘要第69-73页
英文摘要第73页

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