光电子器件封装的压力传感检测技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 论文研究的背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 力/位移传感器的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.1 力传感器的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.2 位移传感器的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本文的主要内容及章节安排 | 第15-18页 |
| 第二章 应变式电阻传感器的工作原理 | 第18-31页 |
| 2.1 弹性敏感元件 | 第18-20页 |
| 2.2 电阻应变片的工作原理 | 第20-29页 |
| 2.2.1 电阻应变片的分类及选取 | 第20-23页 |
| 2.2.2 电阻应变片原理 | 第23-25页 |
| 2.2.3 电阻应变片的测量电路 | 第25-28页 |
| 2.2.4 电阻应变片温度误差与其补偿 | 第28-29页 |
| 2.3 ANSYS有限元分析 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 传感器的结构设计与仿真分析 | 第31-48页 |
| 3.1 新型传感器的结构设计和分析 | 第31-33页 |
| 3.2 3D几何模型的建立与材料的选取 | 第33-34页 |
| 3.3 网格划分及应变值数据处理方法 | 第34-35页 |
| 3.4 传感器结构的对比分析 | 第35-44页 |
| 3.4.1 正圆弧形弹性铰链厚度对检测单元的影响 | 第36-38页 |
| 3.4.2 弹性薄片对检测单元的影响 | 第38-42页 |
| 3.4.3 施力点位置对载荷检测单元的影响 | 第42-44页 |
| 3.5 传感器结构应变片贴片位置的确定 | 第44-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 传感器电路设计与实验分析 | 第48-66页 |
| 4.1 传感器硬件电路设计 | 第48-58页 |
| 4.1.1 稳压电源的选择与设计 | 第49-50页 |
| 4.1.2 调零电路设计 | 第50-52页 |
| 4.1.3 前置放大电路设计 | 第52-54页 |
| 4.1.4 滤波电路及次级放大电路设计 | 第54-58页 |
| 4.2 传感器实验数据处理及分析 | 第58-65页 |
| 4.2.1 传感器的标定 | 第58页 |
| 4.2.2 实验平台搭建 | 第58-60页 |
| 4.2.3 实验数据采集与结果分析 | 第60-64页 |
| 4.2.4 实验误差来源分析 | 第64-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-69页 |
| 5.1 总结 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间的主要成果 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
