摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-18页 |
1.1 研究的背景和意义 | 第10-11页 |
1.2 CGH检测非球面发展和国内外现状 | 第11-17页 |
1.2.1 国外发展及现状 | 第11-15页 |
1.2.2 国内发展及现状 | 第15-16页 |
1.2.3 CGH检测非球面存在的主要问题 | 第16-17页 |
1.3 课题来源及主要研究工作 | 第17-18页 |
第2章 非球面测量方法及原理 | 第18-27页 |
2.1 非球面的基本概念 | 第18-21页 |
2.1.1 非球面的定义 | 第18页 |
2.1.2 非球面的分类 | 第18-19页 |
2.1.3 与非球面检测相关的参数 | 第19-21页 |
2.2 非球面检测方法 | 第21-26页 |
2.2.1 零位补偿法 | 第21-23页 |
2.2.2 轮廓测量法 | 第23-24页 |
2.2.3 无像差点法 | 第24页 |
2.2.4 剪切干涉测量法 | 第24-25页 |
2.2.5 环形子孔径拼接法 | 第25-26页 |
2.2.6 非球面检测方法分析 | 第26页 |
2.3 本章小结 | 第26-27页 |
第3章 基于LC-SLM的非球面检测方法及仿真 | 第27-44页 |
3.1 空间光调制器 | 第27页 |
3.2 液晶空间光调制器工作原理 | 第27-30页 |
3.2.1 液晶的相位调制理论 | 第28-29页 |
3.2.2 液晶对不同偏振态入射光的相位调制 | 第29-30页 |
3.3 LC-SLM测量非球面的几种方案 | 第30-34页 |
3.3.1 入射光倾斜入射补偿的方案 | 第30-31页 |
3.3.2 入射光垂直入射补偿的方案 | 第31页 |
3.3.3 LC-SLM在参考臂的方案 | 第31-33页 |
3.3.4 最终确定的方案 | 第33-34页 |
3.4 ZEMAX序列模式仿真 | 第34-40页 |
3.4.1 测试臂的仿真 | 第34-35页 |
3.4.2 计算全息图的制作方法 | 第35-38页 |
3.4.3 干涉光路的仿真 | 第38-40页 |
3.5 ZEMAX非序列模式仿真 | 第40-42页 |
3.6 元件的偏心与倾斜对波像差的影响 | 第42-43页 |
3.7 本章小结 | 第43-44页 |
第4章 基于LC-SLM非球面检测实验及干涉图分析 | 第44-61页 |
4.1 非球面检测实验 | 第44-48页 |
4.1.1 实验元件设计 | 第44-45页 |
4.1.2 实验光路设计 | 第45-46页 |
4.1.3 实验装置搭建 | 第46-48页 |
4.2 单幅干涉条纹图分析 | 第48-54页 |
4.2.1 单幅干涉图相位提取的FFT算法 | 第48-49页 |
4.2.2 基于条纹特征的干涉条纹延拓 | 第49-54页 |
4.3 基于二维离散余弦变换的相位解包裹 | 第54-57页 |
4.3.1 泊松方程 | 第54-55页 |
4.3.2 离散余弦变换解泊松方程 | 第55-56页 |
4.3.3 二维相位解包裹的仿真与实验 | 第56-57页 |
4.4 实验数据分析 | 第57-60页 |
4.5 本章小结 | 第60-61页 |
结论 | 第61-63页 |
参考文献 | 第63-67页 |
攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
致谢 | 第68页 |