| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 综述 | 第10-19页 |
| 1.1 双探针原子力显微镜研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 原子力显微镜国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 双探针技术国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3 论文的研究内容及组织结构 | 第17-19页 |
| 第二章 双探针原子力显微镜测头机电系统的设计与分析 | 第19-28页 |
| 2.1 双探针原子力显微镜系统方案设计 | 第19-23页 |
| 2.1.1 单探针原子力显微镜测量原理 | 第19-20页 |
| 2.1.2 双探针原子力显微镜的测量原理 | 第20-21页 |
| 2.1.3 双探针原子力显微镜系统 | 第21-23页 |
| 2.2 双探针原子力显微镜测头机电系统的方案设计 | 第23-25页 |
| 2.2.1 燕尾槽探针夹持机构 | 第23-24页 |
| 2.2.2 高精度纳米位移台P-363.2CD和P-752.2CD | 第24-25页 |
| 2.3 双探针原子力显微镜测头仿真分析 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 双探针对准方法的研究 | 第28-38页 |
| 3.1 视场范围内的对准 | 第28-34页 |
| 3.2 数字控制近场力扫描对准 | 第34-35页 |
| 3.3 PID反馈控制近场力扫描对准 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 样品扫描方法的研究 | 第38-48页 |
| 4.1 石英音叉探针A-Probe | 第38-40页 |
| 4.2 样品扫描方法的研究 | 第40-47页 |
| 4.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 实验及数据分析 | 第48-66页 |
| 5.1 测头系统的稳定性分析 | 第48-51页 |
| 5.2 双探针对准及数据分析 | 第51-58页 |
| 5.3 样品扫描实验及数据分析 | 第58-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第66-67页 |
| 6.2 论文展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |