| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 微电子机械系统(MEMS) | 第11-14页 |
| 1.1.1 MEMS的基本特征 | 第11-12页 |
| 1.1.2 RF MEMS的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.1.3 RF MEMS的应用领域 | 第13-14页 |
| 1.2 锁相环 | 第14-16页 |
| 1.2.1 锁相环的工作原理 | 第15-16页 |
| 1.2.2 锁相环在电子对抗中的应用 | 第16页 |
| 1.3 微波信号的相位检测技术 | 第16-24页 |
| 1.3.1 微波信号相位检测的研究进展 | 第17-23页 |
| 1.3.2 微波信号相位检测在电子对抗中的应用 | 第23-24页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第24-27页 |
| 1.4.1 目前存在的主要问题 | 第24-25页 |
| 1.4.2 主要研究工作 | 第25-26页 |
| 1.4.3 主要创新点 | 第26-27页 |
| 1.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第二章 MEMS微波相位检测器的设计理论和实现方法 | 第28-37页 |
| 2.1 传统微波功合器的工作原理 | 第28-29页 |
| 2.2 微波传输线的基本理论 | 第29-32页 |
| 2.2.1 CPW特征阻抗的参数分析 | 第29-30页 |
| 2.2.2 ACPS特征阻抗的参数分析 | 第30-32页 |
| 2.3 模型的建立方法 | 第32-35页 |
| 2.3.1 微波传输模型 | 第32-33页 |
| 2.3.2 微波-力-电模型 | 第33页 |
| 2.3.3 微波-热-电模型 | 第33-34页 |
| 2.3.4 等效电路仿真模型 | 第34-35页 |
| 2.4 GaAs MMIC工艺 | 第35页 |
| 2.5 测试平台和测试方法 | 第35-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 宽频带功合器的研究 | 第37-55页 |
| 3.1 宽频带功合器 | 第37-47页 |
| 3.1.1 宽频带功合器的结构 | 第37-38页 |
| 3.1.2 宽频带功合器的奇偶模分析 | 第38-40页 |
| 3.1.3 宽频带功合器的模拟和优化 | 第40-45页 |
| 3.1.4 宽频带功合器的制备和测试 | 第45-47页 |
| 3.2 微型化宽频带功合器 | 第47-53页 |
| 3.2.1 微型化宽频带功分器的结构 | 第47-48页 |
| 3.2.2 微型化宽频带功合器的奇偶模分析 | 第48-49页 |
| 3.2.3 微型化宽频带功合器的模拟和优化 | 第49-51页 |
| 3.2.4 微型化宽频带功合器的制备和测试 | 第51-53页 |
| 3.3 等效电路仿真模型 | 第53-54页 |
| 3.3.1 宽频带功合器的等效电路仿真模型 | 第53页 |
| 3.3.2 微型化宽频带功合器的等效电路仿真模型 | 第53-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 MEMS微波功率传感器的研究 | 第55-80页 |
| 4.1 电容式MEMS微波功率传感器 | 第55-69页 |
| 4.1.1 电容式MEMS微波功率传感器的微波-力-电转换机理分析 | 第56-59页 |
| 4.1.2 电容式MEMS微波功率传感器的模拟和优化 | 第59-63页 |
| 4.1.3 电容式MEMS微波功率传感器的制备和测试 | 第63-69页 |
| 4.1.4 电容式MEMS微波功率传感器的等效电路仿真模型 | 第69页 |
| 4.2 热电式MEMS微波功率传感器 | 第69-79页 |
| 4.2.1 热电式MEMS微波功率传感器的微波-热-电转换机理分析 | 第69-71页 |
| 4.2.2 热电式MEMS微波功率传感器的模拟和优化 | 第71-73页 |
| 4.2.3 热电式MEMS微波功率传感器的制备和测试 | 第73-77页 |
| 4.2.4 热电式MEMS微波功率传感器的等效电路仿真模型 | 第77-79页 |
| 4.3 本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 MEMS锁相环和微波相位检测器的研究 | 第80-96页 |
| 5.1 两种MEMS锁相环结构 | 第80-86页 |
| 5.1.1 基于功合器和电容式MEMS微波功率传感器的锁相环等效电路仿真模型 | 第80-82页 |
| 5.1.2 基于功合器和热电式MEMS微波功率传感器的锁相环等效电路仿真模型 | 第82-85页 |
| 5.1.3 两种结构的比较 | 第85-86页 |
| 5.2 MEMS微波相位检测器的研究 | 第86-95页 |
| 5.2.1 宽频带MEMS微波相位检测器的结构、制备和测试 | 第86-90页 |
| 5.2.2 微型化宽频带MEMS相位检测器的结构、制备和测试 | 第90-95页 |
| 5.3 本章小结 | 第95-96页 |
| 第六章 总结和展望 | 第96-99页 |
| 6.1 本论文的主要工作 | 第96-97页 |
| 6.2 未来研究工作的展望 | 第97-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-106页 |
| 在学期间学术成果 | 第106-107页 |
