聚合物长周期波导光栅折射率传感器的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10页 |
| 1.2 研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 生化传感器 | 第10-14页 |
| 1.2.2 长周期波导光栅 | 第14-15页 |
| 1.3 本文研究目标和主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章 传感器关键理论分析 | 第16-27页 |
| 2.1 平板光波导 | 第16-21页 |
| 2.1.1 几何光学分析 | 第16-20页 |
| 2.1.2 电磁理论分析 | 第20-21页 |
| 2.2 矩形光波导 | 第21-24页 |
| 2.3 长周期波导光栅 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 器件仿真与设计 | 第27-37页 |
| 3.1 传感器波导结构设计 | 第27-30页 |
| 3.1.1 芯层波导参数设计 | 第28-30页 |
| 3.1.2 待测液体包层参数设计 | 第30页 |
| 3.2 长周期波导光栅设计 | 第30-36页 |
| 3.2.1 耦合模式仿真计算 | 第31-32页 |
| 3.2.2 光栅周期计算 | 第32-33页 |
| 3.2.3 模式耦合效率计算 | 第33-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 器件制作与测试 | 第37-56页 |
| 4.1 掩膜版设计 | 第38-41页 |
| 4.1.1 掩膜版芯层图案设计 | 第39-40页 |
| 4.1.2 掩膜版光栅图案设计 | 第40页 |
| 4.1.3 掩膜版液体包层图案设计 | 第40-41页 |
| 4.2 器件制作流程 | 第41-45页 |
| 4.2.1 芯层波导制作 | 第41-42页 |
| 4.2.2 长周期波导光栅制作 | 第42-43页 |
| 4.2.3 待测液体包层凹槽制作 | 第43-45页 |
| 4.3 器件测试 | 第45-55页 |
| 4.3.1 传感器近场输出光测试 | 第46-47页 |
| 4.3.2 传感器灵敏度测试 | 第47-52页 |
| 4.3.3 传感器温度特性测试 | 第52-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 总结 | 第56页 |
| 5.2 不足与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
