| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的背景 | 第9页 |
| 1.2 国内外的研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 国外的发展现状 | 第9-12页 |
| 1.2.2 国内的发展状况 | 第12-14页 |
| 1.3 课题的研究内容与章节安排 | 第14-17页 |
| 1.3.1 课题的研究内容 | 第14-15页 |
| 1.3.2 章节安排 | 第15-17页 |
| 2 表面声波器件的特性研究 | 第17-33页 |
| 2.1 表面声波的传播特性研究 | 第17-19页 |
| 2.2 耦合模理论模型 | 第19-24页 |
| 2.2.1 COM理论 | 第20-22页 |
| 2.2.2 COM模型 | 第22-24页 |
| 2.3 COM参数的提取 | 第24-27页 |
| 2.3.1 COM参数的提取 | 第24-26页 |
| 2.3.2 有限元模拟提取COM参数 | 第26-27页 |
| 2.4 导纳矩阵 | 第27-32页 |
| 2.4.1 IDT的导纳矩阵表示 | 第27-29页 |
| 2.4.2 双端对声表面波器件的模拟 | 第29-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 表面声波陀螺器件结构的有限元仿真 | 第33-49页 |
| 3.1 有限元分析和仿真 | 第33-37页 |
| 3.1.1 表面声波谐振器有限元模型的建立 | 第33-36页 |
| 3.1.2 模态分析 | 第36-37页 |
| 3.2 器件结构的频率分析 | 第37-44页 |
| 3.2.1 敷金比分析 | 第37-38页 |
| 3.2.2 金属电极高度以及均匀性分析 | 第38-40页 |
| 3.2.3 压电材料厚度分析 | 第40-43页 |
| 3.2.4 叉指线条误差分析 | 第43-44页 |
| 3.3 频率响应分析 | 第44-48页 |
| 3.3.1 电导特性分析 | 第44-45页 |
| 3.3.2 表面声波陀螺效应的频率响应分析 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 表面声波陀螺的制备与性能检测 | 第49-64页 |
| 4.1 结构的设计 | 第49-50页 |
| 4.2 IDT的结构制备 | 第50-60页 |
| 4.2.1 工艺的前期准备 | 第51-52页 |
| 4.2.2 工艺参数研究 | 第52-59页 |
| 4.2.3 膜层的镀制 | 第59-60页 |
| 4.3 性能测试及分析 | 第60-62页 |
| 4.3.1 实验条件 | 第60-61页 |
| 4.3.2 实验结果及分析 | 第61-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 5 结论 | 第64-67页 |
| 5.1 结论 | 第64-65页 |
| 5.2 后期展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-74页 |
| 附录: 计算表面声波波速与旋转速度的变化关系的MATLAB程序 | 第74-79页 |